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应用材料公司在线电子束检视系统加速显示产品开发 应用材料公司在“北京2016国际 应用材料公司用于oLED和高分 分分析，能够更精准地找到缺陷根 显示高峰论坛”上展示了他们面向显示 辫率LCD的电子束检视系统结合大尺 源。”应用材料公司显示产品事业部 行业的高分辨率在线电子束检视(EBR)系 寸真空技术平台和半导体SEM技术， 良率技术部总经理PeterD．Nunan介绍 克服了离线SEM检视技术的不足，可 称， “对于我们来说，速度是最重要 统，该系统能显著提高OLED、UHD液 晶屏制造商良率提升的速度，更快地将 以低电压、无损伤、快速地完成检视 的，现在一个小时可以检测一百个缺 新型平板显示产品推向市场。 的整个流程。 “由于离线SEM技术 陷，未来十年内我们将不停地加快速 随着半导体制程进入次微米，上 需要对样品切割、镀膜等步骤，这不 度，对于我们的客户来说，EBR系统将 世纪90年代，扫描电子显微镜检视解 仅损坏了器件，还会大大降低工作效 会成为他们应对新技术挑战，提高产 决方案(SEM)取代了光学检视，如今率，对于一个熟练的技术员，一天最 能和产品良率的利器，减少解决难题 半导体工艺制程的在线SEM检视率为 多只能检i,ⅢU20个样本，而EBR不需要所需的时间。” ． 90％。目前的显示行业，我们仍依赖 切割玻璃和镀膜．一个技术员一天可 EBR检视技术适用于工艺和缺陷检 传统离线SEM，而离线SEM检视技术以完成上千个样本检测，检测到_的缺 测、构成分析、LTPS颗粒结构检测和CD 现在仍面临以下不足： 陷可以继续后续制程的处理，观察该 测量等。其低电压检测技术不会损伤产 1)需要镀金属／C60镀膜；2)检视缺陷是否是致命缺陷。同时，EBR系 品，同时，EBR检测设备 过程需损坏产品；3)检视周期长；4)样 统可以检测至IJAOl(AutomaticOptic快速的检测速度将不断 本率低；5)信息流失，客户无法得到完 加速新型显示器工厂的 lnSpection，自动光学检测)设备无 整信息。 法检测到的缺陷，进行缺陷或颗粒成 产能爬坡。(旺) 鼷 iiIIIII_IiiIIiiiiI_iiIiIIiiIII_IIIIiiI_IIiI 6位单片机在电机控制中的应用 Microchip的1 如今，消费者开始倾向于新型 在设计中采用了控制算法更加先进的永 工业控制和白电领域开始应用这些新型 电机技术，如永磁同步电机和同步磁 磁同步电机。而在汽车领域，提升燃油 电机。由于成本较低，交流感应电机仍 阻电机，这两种电机需要更复杂的控 效率已成为市场的持续需求，由电机驱 广泛应用。但是，随着对于电机效率要 制算法，以提高效率并降低成本。在 动的所有风扇和泵在逐步转为应用永磁 求的提高，寻求具有更高性价比的替代 白色家电领 同步电机。目前，大多数的新车型都使 越来越成为重中之重。” 域，无刷直 用永磁同步电机，而16位数字信号控 Mic rochip公司一直致力于提高 流(BLDC)制是这一趋势较好的选择。 并改进外设性能，提供优秀平台，助 电机和交流 6位单片机产品部 Microchip公司1 力客户开发出具有高品质的产品。其