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第卷第期半导体学报年月三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法喻文健陆涛涛王泽毅洪先龙清华大学计算机科学与技术系设计自动化实验室北京摘要基于直接边界元素法提出一种边界电容矩阵概念从而实现了三维互连电容的层次式提取算法该算法将三维求解区域划分为若干小块对每个小块分别计算其边界电容矩阵再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵数值实验表明本方法进行电容提取的速度比商业软件虚拟多介质快速算法区域分解法等均快一个数量级以上关键词超大规模集成电路互连线电容矩阵层次式计算边界元法中图分类号文献标识码文章编
第 26 卷 第 1 期 半 导 体 学 报 Vol. 26 No. 1
2005 年 1 月 CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS Jan. ,2005
三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法
喻文健 陆涛涛 王泽毅 洪先龙
(清华大学计算机科学与技术系 设计自动化
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