半导体材料~积体电路.PDF

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半导体材料~积体电路

積 體 電 路 積 體 電 路 半導體材料 半導體材料 ~ 積 體 電 路 ~ 積 體 電 路 1 2 晶圓 / 晶片 / 元件 半導體材料 半導體材料 ~ 晶圓 晶片/ /元件 ~ 晶圓 晶片/ /元件 3 Bipolar IC 4 MOS IC VIDEO check 5 半導體材料 半導體材料 ~ 材料/特性/製程 ~ 材料/特性/製程 圖1.1 絕緣體 、半導體、和導體與電阻係數的範圍 22 23 24 6 圖1.2 三種立方結晶單元(a)簡單立方 ,(b)體心立方 ,(c)面心立方 25 圖1.3 (a)矽(鑽石晶格) ,(b)砷化鎵(閃鋅晶格)的結晶結構 26 圖1.5 矽的蝕刻圖案(a)111和(b)100長晶方向 ,以(110)平邊以 圖1.4 立方晶體中的一些重要平面的米勒指標 27 及適當的切割方向為參考 28 7 圖1.6 矽{111}表面 ,具鋁合金區域,顯示鑽石晶格的對稱 圖1.7 概略的能帶圖表示法 :(a)絕緣體 ,(b)半導體 ,(c)導體 29

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