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实践主题：平面光波导对光工艺实践工程实践 学 生： 刘 昂（2012 级） 指导老师： 周自刚 (教授) 工程基地： 绵阳芯联芯光通信有限公司 实践时间: 2014 年8 月4 日— 8 月31 日 页 0 目录 一、平面光波导对光工艺实践目的及意义3 二、平面光波导分路器（PLC）简介4 三、对光工艺操作流程5 四、光纤端面斜8 度对接的简要分析14 五、实习总结18 页 1 一、平面光波导对光工艺实践目的及意义 目前市场上主流的分路器主要分熔融拉锥型和平面光波导型两 种，平面光波导技术是用半导体离子扩散工艺制作光波导分支器件， 分路的功能在芯片上完成。相对而言其制作过程较为繁琐，成本偏高。 而采用飞秒激光制作分路芯片已有相关报道，其过程简捷，周期短， 相比成本更低。利用飞秒激光制作光波导芯片，同时结合现有的平面 光波导功分器技术制作光波导分路器，具有良好的应用前景。 本次工程实践的目的在于熟悉了解平面光波导分路器的制作工 艺，为后续的利用飞秒激光制作光波导分路器打下基础，同时提高与 锻炼自身的工程实践能力。 页 2 二、平面光波导分路器（PLC）简介 光纤分路器是光通讯领域应用最为广泛最为基础的光无源器件。随 着光纤通讯的快速发展，光纤分路器的市场需求增长十分迅速。而平 面光波导型分路器具有体积小、集成度高、适合大批量的生产等优点, 在通信的骨干网络的超高速传输以及接入网的光纤到户技术得到广 泛的应用（如图1）。平面光波导型光分路器是一种基于石英基板的 集成波导光功率分配器件，主要由单纤、波导芯片、光纤阵列三部分 构成（如图2），其分路功能在波导芯片上完成。芯片的制作采用半 导体离子扩散工艺。 图1 光波导分路器的应用 图2 面光波导结构示意图 页 3 三、对光工艺操作流程 对光工艺的工作是将单个的尾纤、芯片及FA 阵列粘接起来。 图3 对光工艺简介图 1.准备工作 1.1.设备点检 检查设备对光机台、双通道功率计、CCD 显示器、光纤熔接机，确认正常 后继续下一步工作。 1.2 工具准备 酒精、无尘纸、镊子、清洗夹具、裸纤适配器、压杆、剥线钳、螺丝刀、钨 钢刀、切割刀、熔接机、光学显微镜、红外稳定光源。 图4 对光工具图 1.3 光功率计归零 为消除耦值时的误差，光功率计必须归零。将光源线用剥线钳剥除涂覆层， 插入裸纤适配器中，用钨钢刀切平端面，调节功率计波长，按Shift 键切换CH1、 CH2 通道，按REF 键分别归零。 用钨钢刀轻划一下再弹掉光纤切割三次以上确认归零是否准确，允许误差在 0.03db 以下。 页 4 图5 光功率计归零图 2.材料清洗 尾纤的清洗：用夹具夹持单纤2/3 部位，将大小约为3×3cm 的无尘纸对折三次， 蘸取适量酒精在光学显微镜下清洗。清洗时，先从四周开始再到端面，在光学显 微镜下观察无杂质、毛屑及酒精残留即可。一张无尘纸使用一次，清洁后的尾纤 放置于光功率计上。 FA 的清洗：夹具夹持FA 的软胶以上两侧的部位，清洗方法与尾纤一致，清洗 之后置于光功率计上。 芯片的清洗：用夹具夹持芯片两侧，清洗方式与以上一致，芯片两端面均需清洗， 清洗后可直接夹持在夹具上。 图6 单纤、芯片、FA 的夹持图 3.材料的上架 页 5 尾纤的上架：将单纤平的一端朝下置于压杆下，露出压杆约 3mm，压杆固定在 尾纤的中间，用镊子将尾纤往操作者旁推紧，拧紧螺丝保持尾纤不松动即可，避 免用力过大压坏材料。 芯片的上架：将芯片短的一端朝下置于压杆下，压杆固定在芯片的中央，用镊子 将芯片往靠操作者旁推紧，用螺丝刀锁紧螺丝保持压杆水平不松动。 FA 的上架：将FA 软胶端朝下固定于压杆下并用镊子往操作者旁推紧，使FA 露出压杆约2mm,用螺丝刀锁紧螺丝保持