应用微波电浆进行不锈钢表面氮化之研究-龙华科技大学.PDF

應用微波電漿進行不銹鋼表面氮化之研究 應用微波電漿進行不銹鋼表面氮化之研究 曾文利 劉沖明 宋大崙 龍華科技大學工程技術研究所 摘要 本研究以微波電漿(2.45GHz)進行 AISI-303 不銹鋼表面氮化，處理溫度為 450℃， 腔體壓力為 4 Torr 。探討處理時間對於氮化效果之影響。經氮化處理後之試片做微硬度 分析，並以 X 光繞射儀(XRD)分析氮化層結構、電子顯微鏡(SEM)觀察氮化層厚度以及 能量發散光譜儀 (EDS)觀察氮原子分布情形。實驗結果顯示電漿功率 700W 處理時間 80 分鐘時，其硬度可達到 1242Hv ，約為原始試片的7 倍，而氮化層厚度約可達到 6 μm 。 關鍵詞： 微波電漿、不銹鋼、氮化 等(8)使用電漿弧光源離子在不同處理溫 1. 前言 度下氮化 AISI-304不銹鋼。 使用氮化處理來增進材料表面硬度已 與其他不同電漿源相比較下，使用微 經成為一種重要的商業加工方法。氮化處 波電漿有以下幾項優點：(1)可產生高密度 理屬於化學表面硬化法的一種，為增加不 電漿； (2)高的電漿反應，這是因為在高的 銹鋼表面硬度最有效率的方法之ㄧ。經過 電子溫度和電子密度下，活性分子有效的 氮化處理會在表面形成一層氮化層，因此 產生；(3)由於沒有附加電極使用，因此無 可以提高不銹鋼表面硬度、耐磨耗、耐疲 電極污染的存在； (4)在基板上的電漿具有 勞、耐腐蝕等性質(1,2) 。 高的一致性； (5)反應的氣體沒有限制。 由於早期的氣體氮化法生產週期太 本研究以微波電漿氮化 AISI-303 不 長，並且會在表面形成脆性薄層，容易在 銹鋼，探討處理時間對於氮化效果之影 使用時剝落，其後發展出的液體氮化法則 響。文獻 (9-11)中指出氮化處理溫度在 500 雖然改善了氣體氮化法的缺點，不過所使 ℃以上時，會促成 CrN混合物的產生，降 用的液體會造成嚴重的公害問題。而電漿 低不銹鋼的抗腐蝕性，因此本實驗溫度在 氮化法不但處理時間短可以降低能源的消 450℃進行。 耗，而且無公害問題的產生，大大的改善 了氣體氮化法及液體氮化法的缺點(3-5) 。 2. 實驗 近幾年來，基於電漿的各種方法已經 應用於氮化各種不同材料，包括不銹鋼。 2.1 實驗設備及處理條件 Enrique 等(6)使用 ECR微波電漿以不同的 N 、H 混合比例氮化 AISI-316不銹鋼； 圖 1為本實驗所使用之實驗裝置。以 2 2 El-Hossary(7)使用感應耦合 RF電漿氮化 不銹鋼材質製作成的圓柱型腔體，腔體直 AISI-304不銹鋼，並探討電漿功率和氮化 徑約為 360mm 、高280mm 。電漿反應裝 時間對氮化速率和微細構造的影響。 Wang 置石英管直徑為 4cm ，最大功率1200W 。 龍華科技大學學報第二十二期,2007.03 實驗使用的試片為 AISI-303 不銹