扫描隧道显微镜1.ppt

Scanning Tunneling Microscope (STM);;扫描隧道显微镜发明前的微观形貌检测技术 任何一项发明都不是凭空产生的，都是在前面的工作的基础上的进化。扫描隧道显微镜也不例外。扫描隧道显微镜是用来检测微观形貌的，在其发明以前，就有几种微观形貌检测技术了，只是分辨率较低。表面微观形貌的测量，从原理上可以分为两类： 第一类是光成像，包括光折射放大成像和光干涉成像。光折射放大成像检测方法的代表是光学显微镜和透射电子显微镜；光干涉成像法的代表是光干涉显微镜和TOPO移相干涉仪。 第二类是对试件表面进行扫描，逐点检测，从而获得表面微观形貌的信息。这一类检测方法的代表是表面轮廓仪和扫描电子显微镜（SEM）;1.光学显微镜;2.透射电子显微镜（TEM）;3.表面轮廓仪;4.扫描电子显微镜（SEM）;5.场发射形貌描绘仪; 探针在试件表面扫描，可根据场发射电流的大小，检测出试件表面的形貌。 R.Young用形貌描绘仪继续进行研究，发现当探针尖与试件间距离很近时，较小的外加偏压Vb即可产生隧道电流，并且隧道电流Is的大小对距离z极为敏感。他们观察到的Is和Vb间为线性关系时，估计针尖-试件间的距离为1.2nm。可惜他们的研究到此为止，虽然已经有了以上发现，但是未在检测试件形貌时利用隧道电流效应，于一项重大发明失之交臂，甚为可惜。 ;;扫描隧道显微镜的发明; 在他们的诺贝尔奖讲演中，很遗憾地谈到，假如R.Young（场发射形貌描绘仪的发明者）能够及时意识到真空中隧道效应的重要性，假如他能及时想到缩小针尖与试件表面间的距离，那么STM公布发表时的发明人名字就是R.Young了。遗憾的是，他们没有意识到这一点，更没有去缩短那一点微不足道的该死的微小距离，于是他们发明的所谓形貌描绘仪只能永远地在历史上被记载为一种最接近STM的显微仪器了。令人惋惜的还有， R.Young还曾认真研究改进他们的仪器，并试验过一些办法，但收效甚微。他曾一度想到了隧道效应，并还讨论了谱图学方向的应用，但唯独没有想到应用到他的形貌描绘以上。仅此一步没有深入下去，就使他们和一项重大科技发明失之交臂，而空自叹息。;;;; 扫描隧道???微镜的发明;;扫描隧道显微镜的工作原理;STM的工作原理;隧道效应是由于粒子的波动性而引起的，只有在一定的条件下，隧道效应才会显著。经计算，透射系数T为： T与势垒宽度a，能量差(V0-E)以及粒子的质量m有着很敏感的关系。随着势垒厚(宽)度a的增加，T将指数衰减，因此在一般的宏观实验中，很难观察到粒子隧穿势垒的现象。 ;扫描隧道显微镜的基本原理是将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，当样品与针尖的距离非常接近 (通常小于1nm) 时，在外加电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电极。;隧道电流I是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离S以及平均功函数Φ有关： （Vb是加在针尖和样品之间的偏置电压，平均功函数 ，Φ1和Φ2分别为针尖和样品的功函数，A为常数，在真空条件下约等于1）;隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有着指数依赖关系，当距离减小0.1nm，隧道电流即增加约一个数量级。因此，根据隧道电流的变化，我们可以得到样品表面微小的高低起伏变化的信息，如果同时对x-y方向进行扫描，就可以直接得到三维的样品表面形貌图，这就是扫描隧道显微镜的工作原理。 ;STM的结构;STM的工作方??;恒电流模式 ;恒高度模式 ;隧道针尖;目前制备针尖的方法主要有电化学腐蚀法、机械成型法等。制备针尖的材料主要有金属钨丝、铂-铱合金丝等。钨针尖的制备常用电化学腐蚀法。而铂-铱合金针尖则多用机械成型法，一般直接用剪刀剪切而成。;扫描隧道显微镜下图;;扫描隧道显微镜的局限性: 扫描隧道显微镜在恒电流工作模式下，有时它对样品表面微粒之间的某些沟槽不能够准确探测，与此相关的分辨率较差. 扫描隧道显微镜所观察的样品必须具有一定程度的导电性，对于半导体，观测的效果就差于导体，对于绝缘体则根本无法直接观察。如果在样品表面覆盖导电层，则由于导电层的粒度和均匀性等问题又限制了图象对真实表面的分辨率。 扫描隧道显微镜的工作条件受限制，如运行时要防振动，探针材料在南方应选铂金，而不能用钨丝，钨探针易生锈。 ;;原子力显微镜（AFM）;弹道电子发射显微镜（BEEM）;近场光学显微镜（Scanning Near-field Optical Microscope） ;The End