200910205430-靶材的制备方法-审定授权.pdfVIP

SooPAT 靶材的制备方法 申请号：200910205430.6 申请日：2009-10-23 申请(专利权)人宁波江丰电子材料有限公司 地址 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 发明(设计)人姚力军 潘杰 王学泽 钱红兵 刘庆 主分类号 C23C14/14(2006.01)I 分类号 C23C14/14(2006.01)I C23C14/30(2006.01)I C22B15/14(2006.01)I B22D11/00(2006.01)I 公开(公告)号101665909 公开(公告)日2010-03-10 专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 李丽 注：本页蓝色字体部分可点击查询相关专利 (19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN101665909B* (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 101665909 B (45)授权公告 日 2012.08.22 (21)申请号 200910205430.6 C22B 21/06 (2006.01) B22D 11/00 (2006.01) (22)申请 日 2009.10.23 (56)对比文件 (73)专利权人 宁波江丰电子材料有限公司 地址 315400 浙江省余姚市阳明科技工业园 US 2009/0065354 A,2009.03.12, CN 1681960 A,2005.10.12, 全文. 区江丰路1 号 CN 101509125 A,2009.08.19, 全文. (72)发明人 姚力军 潘杰 王学泽 钱红兵 CN 101395296 A,2009.03.25, 全文. 刘庆 审查员 佟林松 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 李丽 (51) Int.C l. C23C 14/14 (2006.01) C23C 14/28 (2006.01) C23C 14/30 (2006.01) C22B 9/04 (2006.01) C22B 9/05 (2006.01) C22B 15/14 (2006.01) 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 2 页 权利要求书1 页 说明书5 页 附图2 页 (54) 发明名称 靶材的制备方法 (57) 摘要 本发明提供一种靶材的制备方法，包括：提供