1激光干涉仪简介中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体，以.PDF

1.激光干涉仪简介 中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单 位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在 高端制造领域应用广泛。 2.激光干涉仪原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束， 一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束 ( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回 到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道 光束之间的干涉 （见图1） 。若光程差没有变化时，探测器会在相长 性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探 测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到 变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 （图1） 3.机床位置精度测量方法 ( 1) 安装调试激光干涉仪的线性折射镜和线性反射镜的安装尽 量选择机床测量轴线位置( 刀具实际工作范围内) ，可以减少产生阿 贝误差( 见图2) 。线性折射镜一般安装在机床固定位置上( 机床主 轴位置) ，线性反射镜一般安装在机床可动位置上( 机床回转刀架位 置) 。特别指出的是线性折射镜与激光头安装位置尽量靠近，因为它 们之间是盲区，激光干涉仪自动补偿功能无法进行，将会产生死程误 差。在调试线性折射镜和线性反射镜的光路时尽量使激光头放射的两 束平行光的光路相互一致。但是我们在实际调试光路时由于操作水平 及安装环境条件限制，可能产生光路的偏移，同时也就产生余弦误差。 不过我们在实际测量中做过试验返回到激光头光路的偏移量在0. 5mm 范围内，将不会影响机床测量精度。如果光路偏移量过大，光路 信号不在测量区域范围内，也就无法测量了。 （图2） ( 2) 确定测量目标位置根据GB17421 评定标准中规定，机床规 格小1 000mm 取不少于10 个测量目标位置，大于1 000mm 测量目标 位置点数适当增加，一般目标值取整数，但是我们建议在目标值整数 后面加上三位小数。主要考虑机床滚珠丝杠的导程及编码器的节距所 产生的周期误差，同时也考虑机床全程上各目标位置上得到充分地采 集。 ( 3) 确定采集移动方式采集数据方式有两种:一种是线性循环 采集方法，另一种是线性多阶梯循环方法。GB17421 评定标准中采用 线性循环采集方法。测量移动方式: 采用沿着机床轴线快速移动，分 别对每个目标位置从正负两个方向上重复移动五次测量出每个目标 位置偏差，即运动部件达到实际位置减去目标位置之差。 ( 4) 评定方法采用双向计算方法进行评定机床的位置精度。目 标位置为 ，下标i 表示移动目标位置中的指定位置。实际位置为 ， 下标j 表示移动第j 次向第i 个目标位置移动时实际到达的位置。目 标位置偏差为 ， = － 。正、负方向目标位置为 ↑、 ↓。 某一目标位置的单向平均位置偏差为 ↑或 ↓，即 ↑= ∑ 或 = ∑ 某一目标位置的反向偏差为 ，即 = ↑－ ↓ 沿轴线或绕轴线的各目标位置的反向差值的绝对值中的最大值。即 B = max ［| | ］ 在某一目标位置的单向定位标准不确定度的估算值为 ↑或 ↓即