1激光干涉仪简介中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体，以.PDF

1.激光干涉仪简介 中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单 位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏度的检测手段，在 高端制造领域应用广泛。 2.激光干涉仪原理 激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束， 一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束 ( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回 到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道 光束之间的干涉 （见图1） 。若光程差没有变化时，探测器会在相长 性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探 测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到 变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。 （图1） 3.机床位置精度测量方法 ( 1) 安装调试激光干涉仪的线性折射镜和线性反射镜的安装尽 量选择机床测量轴线位置( 刀具实际工作范围内) ，可以减少产生阿 贝误差( 见图2) 。线性折射镜一般安装在机床固定位置上( 机床主 轴位置) ，线性反射镜一般安装在机床可动位置上( 机床回转刀架位 置) 。特别指出的是线性折射镜与激