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1激光干涉仪简介中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体,以
1.激光干涉仪简介
中图仪器SJ6000 激光干涉仪是以光波为载体,以光波波长为单
位的一种计量测试方法,是公认的高精度、高灵敏度的检测手段,在
高端制造领域应用广泛。
2.激光干涉仪原理
激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,
一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束
( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回
到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道
光束之间的干涉 (见图1) 。若光程差没有变化时,探测器会在相长
性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探
测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到
变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
(图1)
3.机床位置精度测量方法
( 1) 安装调试激光干涉仪的线性折射镜和线性反射镜的安装尽
量选择机床测量轴线位置( 刀具实际工作范围内) ,可以减少产生阿
贝误差( 见图2) 。线性折射镜一般安装在机床固定位置上( 机床主
轴位置) ,线性反射镜一般安装在机床可动位置上( 机床回转刀架位
置) 。特别指出的是线性折射镜与激光头安装位置尽量靠近,因为它
们之间是盲区,激光干涉仪自动补偿功能无法进行,将会产生死程误
差。在调试线性折射镜和线性反射镜的光路时尽量使激光头放射的两
束平行光的光路相互一致。但是我们在实际调试光路时由于操作水平
及安装环境条件限制,可能产生光路的偏移,同时也就产生余弦误差。
不过我们在实际测量中做过试验返回到激光头光路的偏移量在0.
5mm 范围内,将不会影响机床测量精度。如果光路偏移量过大,光路
信号不在测量区域范围内,也就无法测量了。
(图2)
( 2) 确定测量目标位置根据GB17421 评定标准中规定,机床规
格小1 000mm 取不少于10 个测量目标位置,大于1 000mm 测量目标
位置点数适当增加,一般目标值取整数,但是我们建议在目标值整数
后面加上三位小数。主要考虑机床滚珠丝杠的导程及编码器的节距所
产生的周期误差,同时也考虑机床全程上各目标位置上得到充分地采
集。
( 3) 确定采集移动方式采集数据方式有两种:一种是线性循环
采集方法,另一种是线性多阶梯循环方法。GB17421 评定标准中采用
线性循环采集方法。测量移动方式: 采用沿着机床轴线快速移动,分
别对每个目标位置从正负两个方向上重复移动五次测量出每个目标
位置偏差,即运动部件达到实际位置减去目标位置之差。
( 4) 评定方法采用双向计算方法进行评定机床的位置精度。目
标位置为 ,下标i 表示移动目标位置中的指定位置。实际位置为 ,
下标j 表示移动第j 次向第i 个目标位置移动时实际到达的位置。目
标位置偏差为 , = - 。正、负方向目标位置为 ↑、 ↓。
某一目标位置的单向平均位置偏差为 ↑或 ↓,即
↑= ∑ 或 = ∑
某一目标位置的反向偏差为 ,即
= ↑- ↓
沿轴线或绕轴线的各目标位置的反向差值的绝对值中的最大值。即
B = max [| | ]
在某一目标位置的单向定位标准不确定度的估算值为 ↑或 ↓即
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