准直小孔法自动调焦在激光直写入系统中的应用 - 光子学报.PDF

第27 卷第8 期 光 子 学 报 Vo1. 27 No. 8 1998 年 8 月 ACTA PHOT ONICA SIN ICA August 1998 准直小孔法自动调焦在激光直 写入系统中的应用 赵为党 沈亦兵 刘玉玲 侯西云 杨国光 ( 现代光学仪 国家重点实验室, 浙江大学, 杭州 310027) 本文介绍了一种新的自动调焦方法- 准 小孔法对自动调焦的原理和后继电路处 理方法作了详细的分析 它具有响应时间短、灵敏度高, 能够很好的在激光 接写入系统中 克服物镜工作台运动中导轨的不平和轴向窜动所造成的离焦 准 小孔法; 自动调焦; 激光 写入 1 80 年代以来, 二元光学元件由于在体积、抗干 扰等方面有常规光学元件无法取代的特点, 愈来愈 受到人们的重视, 它可以用在光学系统中减少透镜 数而达到常规光学系统要较多元件所能达到的成象 要求但二元光学元件的制造工艺复杂, 所需的设 备要求高, 其中又以掩模板制作为关键工艺浙江 大学高技术现代光学中心研制的极坐标激光直接写 入系统( Las r Dir ct Writing Syst m, 简称LDWS) 在 掩膜板光刻胶上通过曝光来制作掩模板其系统原理 图如图1 所示 激光直写系统中主物镜对光束会聚在焦面上曝 光在曝光过程中, 由于转台的轴向窜动、基片的倾 图1 极坐标激光写入系统原理图 斜、胶面的不平以及主物镜工作台运动中导轨 Fig. 1 Th sch m of pol coordinat LDW S 的不平都将引起离焦, 影响光斑的大小, 这对于制作精细的衍射光学 件是极为有害的 因此必须引入 自动调焦系统, 在加工过程中实时地对离焦量进行补偿 优质的基板表面平整度在007m 的容差之内基片的整平可用载掩模板的微调工作台调整到 旋转一周时掩模上表面高差不超过 01m 来完成 良好涂胶胶层表面的起伏为50nm, 即005m 将这些误差随机合成其大小为 0124m它还不足以超过焦深范围 因此, 自动调焦的作用主要是 克服物镜工作台运动中导轨的不平和轴向窜动造成的离焦 2 这种方法的原理类似于共焦显微镜测量表面轮廓时进行的调焦检测其原理如图2 所示 国家高技术863 计划资助项目 收稿日期: 1998- 03- 23 光 子 学 报 27 卷 754 入射到主物镜的光束正好被会聚在涂胶面上, 即准焦时, 在工作面反射的光束平行返回通过半透半 反转折到会聚透镜上, 会聚透镜将光斑聚焦在透镜的焦面上, 在此焦面上安置一针孔, 其大小略大于会 聚光斑的大小, 紧挨着针孔面是光电探测面, 这时因为光束在主物镜和会聚透镜间是平行的, 光束在针 孔面上的会聚能量集中, 故光电探测面上探测到的光电流最大若入射的光束经主物镜后的会聚点在 焦前或焦后的位置, 则光束在主物镜和会聚透镜间是会聚的或发散的, 针孔上光斑能量的会聚性减弱, 光电探测 上检测到的光电流相应减小利用探测到的光强信号的变化就能判别离焦及离焦量 图2 自准直小孔法离焦检测系统原理图 图3 调焦系统等效光路 Fig. 2 Th d focus d t cting sch m of collimating Fig. 3 Th quat light path of focusing syst m y l t m t hod 图3 是图2 的等效光路, S 为主物镜前焦面上的一点源, 其象将成于会聚透镜的后焦面上S, 即图2 的针孔及光电探测 上, 若S处的光强分布为I ( z ) , z 为垂直于后焦面的平面上点到S的距离, 针孔的 直径为a, 则光电探测 探测到的光电流i 可表示为 a/ 2 I0( z )