提纯铸锭炉使用说明书.docVIP

使用说明书 名称：多晶硅提纯铸锭炉 型号：WZL-460 吴江亿泰光伏设备有限公司 1、安全 1.1 安全标志 在设备的右上方设有常规报警警灯，高危报警警灯，操作人员对警灯的响起必须引起高度的重视，并认识其严重性。对此警灯的不同颜色的闪烁操作人员必须充分理解。 红色高危报警铃 表示及其危险，如果不注意会导致人身严重伤害或死亡。 红色警灯亮起 表示设备正处在停止运行状态。 黄色报警灯亮起并报警 表示设备出现故障，需要及时排除，否则将导致危险的发生。 绿色报警灯亮起 表示设备正处在正常运行状态。 注意安全操作，防范事故发生。 电力高压部分，非专业工作人员禁止触摸。 高温状态禁止打开炉门，否则有爆炸的危险。 高温状态炉内禁止放入大气，否则有爆炸的危险。 1.2 安全注意事项 1）设备的腔体在真空状态下，原则上真空度不会大于1.33mba,如出现低于该真空度的现象表明设备可能出现泄漏，必须停炉请专业人员检查修复，否则将引起设备损坏或出现爆炸的危险。 2）设备在充气状态下，原则上腔体内部的压力不会大于900mba，如果大于以上的压力，表明炉内出现异常，或充气阀损坏，或炉内出现漏硅等，也应及时请专业人员检查修复否则有爆炸的危险。 3）在生产过程中由于断电等原因在高温状态下出现急冷，该炉内的硅料不可重复加热，以防坩埚破裂在高温状态下出现漏硅产生爆炸。 4）在打开炉门时，炉内的温度必须低于在200度以下，炉内炉外的压力必须保持基本平衡，否则将带来损坏设备的危险。 5）维修人员必须穿戴维修专用服装，穿上绝缘性比较好的橡胶鞋，防止触电发生。 6）中频电容的电容柜、电控柜，是高压产生的地方，严禁在有高压状态下接近和触摸，出现故障应由专业及时人员进行维修。 7）电器维修人员必须由两人以上操作人员，方能进行维修，确保正确操作，以防意外发生。 8）遇到设备故障，不能想当然的做一些没有根据事实的操作，任何事情都必须在有依据的情况下进行操作，当问题无法解决时，应请专业技术人员来维修。 9）设备在自动运行过程中，不可随意切换到手动，必须具备专业操作水平的人员方可操作，操作人员必须了解手动操作后的运行后果，确保设备运行安全。 10）当设备发生常规报警或高危报警时，必须头脑清醒冷静对待，切不可慌乱，确定报警产生的原因，谨慎地处理问题，因设备壳体装有两个大口径防爆装置，爆炸前必然会有泄压过程的产生。 11）设备在安装时必须配有备用电源和备用水源，以防止设备高温状态突然断电，炉内冷却腔体和中频线圈无法供水，炉内无法实现抽真空，而导致设备损坏，发生爆炸危害人生安全。 12) 设备配有充气系统，保证炉内在长晶或退火或冷却过程中的热传导和热交换，所以氩气必须有保障性地提供，当出现管道泄露或者一些其他情况时，应及时关闭充气阀门，以防止外部大气进入炉内，发生爆炸，并请专业人员及时修复。 13）设备配有压缩空气供气系统，供气压力在0.4-0.8mpa,主要应用于一些气动阀门的开启和关闭，供气中断会影响设备的正常运行，设备在运行过程中必须保证压缩空气的正常供给。压缩空气设备是一个专业设备，必须由专业人员维修保养。 14）设备在抽真空管路上开设有安全人孔，以防止被提炼物高温状态下垃圾进入扩散泵，需经常打开人孔盖及时检查或清洗。在进入人孔时必须两人配合操作，以防意外发生。 15）该设备共有三套升降机构，即炉盖升降机构、坩埚升降机构、隔热门升降机构，各升降机构在运行过程中严禁触摸运行部分，以防止对人体造成伤害。 16）当硅锭从炉内出炉时，由于是急速冷却的作用，坩埚会出现爆裂的现象，所以在硅锭还没有完全冷却的状态下不要靠近，以免飞溅的陶瓷片伤害人体，在必要时可带眼镜或防护罩造作。 2、开炉前的检查 2.1 加热系统的检查 1）加热系统是设备运行的主要部分，炉内的发热是通过中频线圈通电形成电磁场致使石墨发热导体发热，再通过真空辐射的方式使硅料预加热，当硅料加热到导磁后再自身产生发热。我们在开炉前必须检查中频线圈和碳复合毡及炉体的绝缘性，测量的绝缘电阻必须大于2千欧姆以上。 2）中频加热的线圈的内部是通水冷却的，以保证线圈在高温状态下能正常工作，所以我们在加热前必