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光电子微纳制造工艺平台安全培训 2015-04-02 培训目的 诸多的安全事故给了我们深刻的教训， 为了提高大家的安全意识，让大家在超净间内 能安全、规范的开展各项工艺实验。 微纳平台的用户需要参加安全培训，才 能取得进入微纳平台超净间的资格。取得资格 后经过经过相应设备的培训后，取得操作证书 才能操作相关设备。 培训内容  超净间内基本行为准则  超净间管理规定  紧急疏散及应急处理 超净间一般行为准则  进入超净间前不要化妆。  超净间内禁止吃东西和喝水。  进入超净间前30分钟不要抽烟。  尽量避免带隐形眼睛。隐形眼镜可能吸收化学蒸 汽或者在眼球与镜片间吸附化学物质。紧急情况 下，隐形眼睛影响冲洗眼睛。  进入超净间必须穿着超净服和超净靴。如果是上 下分体式的，上衣必须收扎在裤子中，裤脚要收 扎在靴子或者脚套中。 超净间一般行为准则  超净间内不能使用铅笔。  非必需品（包括书本、工具、包等）不能拿入 超净间。  不能对着基片，水或者干净的器皿、表面咳嗽、 说话或者打喷嚏。  不要让你的皮肤直接接触超净间内任何物体。  除了在紧急状态下，不要进入技术夹道或者灰 区。  离开时请收拾好你的工作空间，除非得到工程 师同意，不要在超净间内留下物品。 超净间一般行为准则  在清洗间使用化学试剂前，你必须了解你要使 用的化学试剂的特性。禁止在不了解的情况下， 使用化学试剂。  必须取得设备的操作许可证，才能操作相应的 设备。  禁止在超净间内从事与实验无关的事情。禁止 大声喧哗和跑动。  任何时候避免一个人在超净间内使用设备。特 别是晚间禁止一个人在超净间内使用设备。 超净间着装要求  进入超净间必须穿着超净服。 – 上衣扎入裤子中，用脚套或洁净靴包住裤腿。 – 帽子戴端正，领口里外两层搭扣扣好。 – 超净服如变脏，需及时更换干净超净服。 – 请带口罩、手套进入超净间。  进入超净室应注意个人卫生。 – 穿着平台提供的洁净鞋或者鞋套进入更衣间。 – 不能穿鞋或打赤脚在更衣间或走廊间走动。 – 进入平台大门时鞋底不要带入泥土。 – 自己的鞋子放入鞋柜并摆放整齐。 进出超净间着装方法 • 超净工艺间入室顺序： • →脱一次鞋 • →穿上净化服 • →穿上净化鞋 • →戴上净化帽→洗手 • →戴上口罩→手套 • →进风淋室→入室 • 超净工艺间退室顺序： • →出口→脱下手套 • →脱下口罩 • →脱下净化鞋 • →摘下净化帽 • →脱下净化服 • →净化鞋归位 • →整理净化服挂于衣架上 出口 • →出更衣室 超净间场地管理规定 要带入超净间的仪器、工具、硅片和掩模盒，请在 更衣室进行清洁。 容易产尘的用具：如普通纸张、铅笔、橡皮擦、蜡 笔、木制品、铁制品等，请勿带入超净间。 普通使用者不得私自进入技术夹道、灰区。 请将随身物品放入储物柜,不要将其带入超净间。 时刻保持整洁，垃圾随时放入垃圾桶内。 超净间人员管理规定 只有通过了安全培训的人员才能进入超净间开展 实验。 只有预约了实验，并在实验时间才能进入超净间 开展实验。 在超净间开展实验时除了进入与自己预约实验相 关的房间外，请不要进入其它房间。 进入超净间开展实验以外的其他活动须取得平台 的许可。