薄膜晶体管液晶显示器TFTLCD生产省略设备分析半导体设备供应商争夺.pdfVIP

中国集成电路 CIC 设备材料 ChinalntegratedCircult 薄膜晶体管液晶显示器 TFT-LCD ( ) 生产线专用设备分析 ———#$%’()*+,-./01 !#$ % ’ 年奥地利植物学家莱尼茨尔首先发现液晶 与集成电路 相比 是以硅片作为衬底 1888 IC IC ( ) , ; 材料 经许多科学家持续研究 特别是在 1968年美 而TFT-LCD则是以玻璃板作为基板 IC生产中目 , , 。 国 公司的海麦尔发现 向列相液晶的透明薄层 前大量采用的硅晶圆直径为 和 而 RCA : 200mm 300mm, 通电时 会出现混浊现象 即产生电光效应 首次 生产中所用的玻璃板的尺寸 以 代线为 , ( )。 TFT-LCD , 7 制成了静态图像液晶显示器 此后 日本的夏普 精 例则 已高达 而 代线则为 。 , , 1870mm?2220mm, 8 工和卡西欧等公司在美国公司的成果基础上实现了 在加工精度方面 线宽已经进 2160mm?2400mm。 ,IC 产品的大量生产 并不断发展 入 纳米节点 而 的线宽则约为 微 , 。 65 ; TFT-LCD 2~3 现在的 产品有以下几种类型 年 米 并且由于 的芯片尺寸比较小 个别缺陷较多 LCD 170 IC :( ) , , 代已经进行大量生产的 用于电子手表 计算器显示 的芯片可以在中测时剔除 而TFT-LCD面板由于尺 , , ; 的扭曲向列型液晶显示器 TN-LCD 2 在80 寸比较大 出现缺陷 只能使产品降级 人们往往称 ( );( ) , , 。 年代开始大量生产的 应用范围更广 具有视角宽 集成电路为微电子技术 称TFT-LCD为巨微电子技 , , , , 对比度高 扫描线多等优点的 超扭曲向列型液晶显 术