多晶硅生产中副产物SiCl_4的综合利用.pdf

多晶硅生产中副产物SiCl4 的综合利用 ◇肖顺珍 蒋云华 江苏特华科技有限公司 在氯化氢（HCl）合成制备三氯 且会造成严重的环境污染和灾难性后 的氢化工艺进行研究。 氢硅（SiHCl）过程中，除主要产品 果，也是巨大的资源浪费。凡是生产多 （1）高温氢化 3 SiHCl 外，还有大约 15%左右的四氧 晶硅的企业，都必须考虑对SiCl 副产 将SiCl 与H 按体积流量比1∶2 3 4 4 2 化硅（SiCl）副产品，另外还有二氯 物的处理问题，这个问题可以说是生 ～1∶4混合进入反应器，经1200 ～ 4 氢硅（SiHCl ）等。在SiHCl 氢还原 产多晶硅企业的“生死存亡”大问题。 1250℃复合石墨发热体加热，压力范 2 2 3 5 5 中，还伴随有SiHCl3的热分解而生 如何解决西门子法生产工艺流 围为 1.5×10 ～2.5×10Pa，即称为 成的SiCl 、SiH Cl 和HCl等，同时还 程中副产品SiCl 的出路问题，已成为 高温氢化。这种SiCl4氢化工艺具有 4 2 2 4 有部分SiHCl 和98%左右的H 为尾 多晶硅生产规模扩大中非常棘手的问 诸多优点，如压力比较缓和，对设备 3 2 气排出。目前，SiHCl 和H 基本都得 题。国际上凡是千吨级以上的西门子 的要求较低，安全性好，且H 与SiCl 3 2 2 4 到了充分的利用，但是，SiCl 、HC 和 法多晶硅公司，都采用各自的方法解 比值较小，因此还原炉内SiCl 浓度较 4 l 4 SiH Cl 还没有全部回收和利用。为了 决了SiCl 的出路问题，主要是开辟以 高，保证了还原反应的速率以及充分 2 2 4 降低原材料消耗，提高经济效益，应该 SiCl4为原料的后续产品