半导体用透明石英玻璃管上海化科实验器材有限公司.docVIP

半导体用透明石英玻璃管 1主题内容与适用范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法， 检验规则及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工 业的透明石英玻璃管（以下简称石英玻璃管）。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也 可参照本标准。 2引用标准 GB／T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB59a9透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB10701石英玻璃热稳定性检验方法 GB／T l2442石英玻璃中羟基含量试验方法 3术语 3．1气线：石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。 3．2气线密度：每平方厘米中气线条数。 3．3破皮气线：暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线，其边缘锋利。 3．4色线：石英玻璃管上带有颜色的线条。 3．5沟棱：石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。 3．6晶纹：石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。 3．7麻点：石英玻璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的 痕迹。 3．8杂质：石英玻璃组成中二氧化硅（Si02）以外的组分。 3．9生料颗粒：透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质 颗粒。 3．10透明颗粒：石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。 3．11波纹：石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。 3．12色斑：在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。 3．13气泡群：透明石英玻璃管壁中，由微小气泡（小于标准中气泡的下限尺寸）密集 而成的群集气泡。 3．14揪痕：排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。 3．15暗疤：透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态（俗称 雪花，破皮或梅花）。在高温熔烧中发橙色亮光。 3．16炸裂：石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。 3．17析晶：透明石英玻璃在特定温度下析出晶体，造成失透。 3．18桔皮：透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。 3．19云雾：石英玻璃管烧制加工中，所产生的二氧化硅（SiO2）挥发物，冷凝后附着 在表壁上的白色不透明物。 3．20偏壁度：石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差。 3．21椭圆度：石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差。 3．22弯曲度：石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4产品分类 4．1分类 投生产工艺分以下5类： a．真空常压法管（常压管）； b．真空加压法管（加压管）； c．电熔二步法管； d．气炼、电熔二步法管（气炼二步法管）； e．气炼一步法管（气炼管）。 4．2等级 石英玻璃管按外观分为优等品（A）、一等品（B）和合格品（C）3个等级。 5技术要求 5．1规格尺寸 5．1．1石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的规定。 5．1．2石英玻璃管的标准长度为1000mm。 表１ 外径范围，mm外径偏差，％ 10￣50±3.0 51￣70±3.0 71￣90±2.7 91￣100±2.7 101￣150±2.5 151￣250±2.2 表２ 壁厚范围，mm壁厚偏差，％ 1.5￣3.0±12 3.1￣4.0±14 4.1￣5.0±15 注：1．管子为两端开口亦可为一端开口，封口管其孤度部分不包括在长度内。 2．特殊规格或其它规格的管子，由供需双方商定。 5．1．3矩形管、钟罩式石英管规格尺寸由供需双方商定。 5．2尺寸偏差 5．2．1外径偏差、壁厚偏差应符合表1、表2的规定。 5．2．2长度：偏差为管长的±1％。 5．2．3偏壁度：不得大于壁厚偏差的绝对值。 5．2．4椭圆度：不得大于外径偏差的绝对值。 5．2．5弯曲度：不得超过管长的3‰。 注：管长在1000mm以上，其弯曲度不得超过管长的2．5‰。 5．3外观指标 5．3．1常压管、加压管、电熔二步法、气炼二步法管的外观指标应不大于表3的规定。 表３ 外观名称等级指标优等品一等品合格品 等级 气线密度，条/cm[2]32040 其中长度＞5mm的气线，条135 气线宽度，mm0.20.30.5 气线长度，mm20￣3031￣8081￣200 长气线条数φ10￣60mm234 条/1000mmφ61￣120mm456 φ121￣200mm678 色线不允许不允许管径≤80mm允许有１条 管径≤80mm允许有２条 φ20￣60mm24 麻点φ61￣120mm不允许46 个/1000mmφ121￣200mm610 沟棱手摸感觉不明显 晶纹、裂纹、内壁破皮气线不允许 注：①长度小于10mm的色线不计。 ②色线的长度及宽度指标按各等级气线长度、宽度的指标规定。 5．3．2气炼管的外观指标应不大于表4的规定。 表４ 外观指标 等级指标优等品一等品合格品 等级