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采购需求可添加附页一系统的主要组成及技术指标极限真空度经烘烤除气后系统真空检漏漏率系统从大气开始抽气分钟可达到停泵关机小时后真空度系统主要由溅射真空室磁控溅射靶基片水冷加热台工作气路抽气系统安装机台真空测量及电控系统等部分组成溅射真空室组件套圆筒型真空室尺寸电动上掀盖结构可内烘烤选用优质不锈钢材料制造氩弧焊接表面进行特殊工艺抛光处理接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下法兰接口个观察窗口法兰接口个观察窗口法兰接口个路进气管路放气阀法兰接口个接分子泵法兰接口个磁控
采购需求：（可添加附页）
一、系统的主要组成及技术指标
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa；
系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成；
、溅射真空室组件 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制
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