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第卷第期摩擦学学报年月单晶硅的纳米力学响应及其相变机制韩静孙甲鹏方亮中国矿业大学机电工程学院江苏徐州河海大学力学与材料学院江苏南京西安交通大学金属材料国家重点实验室陕西西安摘要硅在大规模集成电路半导体工业中具有不可替代作用但是目前对硅的塑性变形及其相变机制的理解远未成熟采用大规模分子动力学模拟研究面的单晶硅在球形金刚石压头纳米压入过程中的纳米力学响应相变过程和相分布规律结果表明在弹性变形阶段载荷压深曲线与接触理论预测结果相吻合两者的分离点准确地预示了塑性变形的发生金刚石结构的相向体心结构的相转变
第 36 卷 第 5 期 摩 擦 学 学 报 Vol 36 No 5
2016 年 9 月 Tribology Sept, 2
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