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中华人民共和国国家标准实施发布前言本标准是按照给出的规则起草的本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会并归口本标准负责起草单位江苏协鑫硅材料科技发展有限公司瑟米莱伯贸易上海有限公司本标准主要起草人薛抗美夏根平黄黎林清香太阳能电池级硅片翘曲度和波纹测试方法范围本标准规定了太阳能电池级硅片以下简称硅片翘曲度和波纹的测试方法本标准适用于测量符合规定的尺寸的硅片的翘曲度和波纹在测试仪器允许的情况下本标准也可用于其他规格硅片的翘曲度和波纹的测量规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的
ICS29.045
H 80
GB/T XXXXX—XXXX
中华人民共和国国家标准
XXXX - XX - XX实施
XXXX - XX - XX发布
前 言
本标准是按照GB/T1.1-2009给出的规则起草的。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)并归口。
本标准负责起草单位:江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、瑟米莱伯贸易(上海)有限公司。
本标准主要起草人:薛抗美、夏根平、黄黎、林清香。
太阳能电池级硅片翘曲度和波纹测试方法
范围
本标准规定了太阳能电池级硅片(以下简称硅片)翘曲度和波纹的测试方法。
本标准适用于测量符合SEM
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