基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究.pdf

第 44 卷第 2 期 浙 　江 　大 　学 　学 　报 (工学版) Vol . 44 No . 2 20 10 年 2 月 J ournal of Zhej iang U niver sit y ( Engineering Science) Feb . 20 10 DO I : 10 . 3785/ j . i ssn . 1008973X. 20 10 . 02 . 033 基于光谱型白光干涉仪的绝对距离测试研究 薛 　晖 , 倪肖勇 , 沈伟东 , 章岳光 , 刘 　旭 , 顾培夫 (浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室 ,浙江 杭州 3 10027) ( ) 摘 　要 : 采用微型光纤光谱仪记录宽波段 450～900 nm 下的光谱干涉图 ,提出一种解包络线的方法来提取相位 主值 , 同时由总光程差与棱镜折射率成正比的关系进行相位解包裹. 由线性关系的斜率和截距分别求解得到棱镜 的等效厚度和两参考镜之间的绝对距离. 利用该方法测试了参考镜在不同位置处的距离 ,结果与千分尺数值之间 的偏差小于 1 % , 同时获得了99 . 9 %的线性度. 还测试了B K7 玻璃的厚度 ,与其他方法相比,其精度达 0 . 2 1 %. 分 析了影响测试精度的因素 ,并对测距范围进行了讨论. 关键词 : 干涉计量 ;光谱白光干涉仪 ;测距 ;相位解包裹 ;光纤光谱仪 ( ) 中图分类号 : T H 74 1. 13 　　　　文献标志码 : A 　　　　　文章编号 : 1008973X 20 10 0239305 Absol ute distance measurement with spectral domain whitel ight interferometer XU E Hui , N I Xiaoyong , SH EN Weidong , Z HAN G Yueguang , L IU Xu , GU Peif u ( ) S t ate Key L aboratory of M ode rn Op tical I ns t rument ation , Z hej i ang Uni ve rs i ty , H ang z hou 3 10027 , Chi na Abstract : A fiberop tic sp ect ro met er wa s emp loyed for recor ding sp ect ral int erf ero gram s over a wide wave len gt h ran ge (450 ～ 900 nm) . A new met ho d wa s p re sent ed for ret rieving t he w rapp ed p ha se f unctio n by t he envelop e met ho d . The unwrapp ed p ha se wa s obt ained by a simp le