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第章新造技一相知充超精密加工微造是指造微小化零件及品的技若以最小加工精度可以分一般加工精密加工及超精密加工超精密加工一照於不同年代的加工技可是相性的如所示年代加工的精度上限但因的技新研了可以加工精度控制在左右超精密搪孔因此瓦特得以造出效率高的用型蒸然而入光代的今天超精密加工的精度已展至以目加工方法精度之演使用超精密加工法的目的是在作出品的精密形尺度表面粗糙度加工的基本型有切削搪研磨及光等三切削所使用的刀具以械性佳的晶石主工具亦需具有超高之定位精度及性整相的技如所示些相技需不的改良步才能使超精密加
第13章 新興製造技術
一 相關知識補充
1. 超精密加工
微細製造是指製造微小化零件及產品的技術，若以最小加工精度來說，則可以區分為一般加工、精密加工及超精密加工。超精密加工一詞，對照於不同年代的加工技術，可說是相對性的。如圖13-1所示，1750年代時，加工的精度上限約為1cm，但因為當時的技師，創新研發了可以將加工精度控制在1mm左右「超精密」搪孔機，因此瓦特得以製造出效率較高的實用型蒸氣機，然而進入光電時代的今天，超精密加工的精度，已進展至以1nm為目標。
圖13-1 加工方法與精度之演進
使用超精密加工法的目的，是在製作出製品的精密形狀、尺度與表面粗糙度，加工的基本類型有切削（車、
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