全自动太阳能硅晶片二次清洗设备200片技术说明.pdfVIP

苏州聚晶科技有限公司 保密 全自动太阳能硅晶片二次清洗设备 技术说明 一． 总述 全自动晶硅片二次清洗机用于返工片的清洗。 机器共分机架、工作槽、上下料部件、机械手、进出料虚拟槽、慢提拉 系统、电气系统、气动系统、风道及管道,热风干系统等十大主要部分，整机 动作由 PLC 控制。 技 为避免污染环境,整机采用全封闭结构。 二． 动作及工艺流程 科 该设备为全自动运行，操作者将装有工件的清洗篮放在上料台上后，进 晶 料输送装置将清洗篮运送到虚拟进料槽，机械手在 PLC 的指令下，将清洗 篮运送到相关槽位，进行相关槽位的工艺处理。处理好后的清洗篮再由机械 聚 手提送到虚拟下料槽，下料输送装置将清洗篮送至热风干隧道，花篮经过热 州 风干后送至出料口,操作者在出口处将清洗篮取下。工艺流程如下： 上料→Acid 洗→DI 漂洗+喷淋→DI 洗→烘干→下料 苏 三． 部件介绍 1. 机架 框架式骨架由方钢和槽钢焊接而成（底盘由槽钢焊接而成），方钢外均 包乳白色 PP 板。其中，前面的第二层装有可上下滑动的透明 PVC 门，以 便机器工作时操作人员能有效观察机器的工作状况或处理特殊情形，后面开 1 此文件包含的信息为聚晶科技与合作伙伴的保密信息，属“苏州聚晶科技有限公司”所有 2010-9-3 -1/1 苏州聚晶科技有限公司 保密 有对开 PP 门，方便设备维修。 框架底部、槽底下方铺设 PP 板，并设有底盘排液装置，以收集可能产 生的滴漏残液，并保持设备干燥。 2. 工作槽 本机共有 3 个工作槽，槽盖采用左右翻盖方式。从左向右的 3 个工作槽 分别编号为 1 至 3 号槽（设机器为右上料、左下料），分别拟作如下排列： 槽号 槽体材质 功能 工艺时间 鼓泡 工艺温度 技 1 PVDF 酸洗 2~5 分钟 有 RT 漂洗 科 2 PP 2~5 分钟 有 RT 喷淋 3 PP 慢提拉 2~5 分钟 无 60-80 晶 各槽的结构情况如下： （1） 1 号槽（酸槽） 聚 内腔尺寸472Lx836Wx420H 州 槽体材质为 PVDF，槽盖材质为 PP，四周有溢流口，槽内内置 PFA 鼓 泡管。PLC 根据工艺情况控制联接鼓泡管的电磁阀开关。鼓泡管内需通纯净 苏 氮气，流量由过滤减压阀控制，并配备气体流量计；为实现自动补液功能， 槽内安装液位感应及离子感应器，并在机器后面加装一个 PVDF 自动补液器