Optorun 设备保养维护方法(2007-1).pdfVIP

Optorun机台保养手册 为设备大保养之参考 当遇到春节、国庆等长假，镀膜设备需要长时间 停机时，为了顺利的再次启动设备，尽快的恢复 生产，同时完成一些需要设备较长时间停机才能 进行的工作，有必要对镀膜设备进行一次比较彻 底的维护和保养。 出于人身安全起见，以下工作在作业时建议在机 器上悬挂“设备保养中”的提示牌，必要时可以断掉 相关的电源 关机切断主电源 一、主机和电控柜的大清洁及检点 ● 真空室内彻底清洁，重点放在平常连续生产时不能或者 不便清洁的地方，如主阀附近的油污、Heater加热丝等。以 见本色为标准 ● 查看是否有一些耗材、易磨损件等需要更换，例如：密封 圈是否有老化、开裂的现象，对于使用超过一年的，建议更 换 ● 检查各种紧固装置和气动装置是否有松动和异常声音。 ● 检查各种驱动装置的轴承是否灵活，齿轮与齿轮间的空隙 是否正常。 ● 对TM1、TM2、TM3三处的规管进行清洁。 ● 对电控柜和电子枪电源内部进行大清洁和检点，特别是高 压部分的积尘应清扫干净。可以采用酒精擦拭和气枪吹相 结合的方法进行，注意所用气体务必是干燥、干净的。 ● 检查电控柜里的接线端子和通讯连接线是否有松动。 ● 根据设备购买日期，检查和确认一些关键的元器件的使用 寿命是否已到。 二、冷却水系统的清洗 目的：除去水垢和其它沉淀 物，改善水质和冷却效果，防 止和减少冷却水报警的出现。 方法：首先对机器自身的水路 进行清洗，本着“一进一出”的 原则逐路清洗，必要时可以使 用压缩气体；然后对外围的冷 却水系统进行清洗，包括管 道、水箱等；最后对图中的风 叶流量计进行清洁，安装时注 意转轴勿折断。 注意事项：如果清洗工作是在 冬天气温较低的情况下进行 的，为了避免出现冷却水结冰 对管道和设备造成危害，建议 在清洗工作结束后，把整个冷 却系统的水放掉。 三、真空系统维护保养 检查RP、MBP和DP的电源接线端子是否松 动。 检查和确认是否需要对RP、MBP和DP进行泵 油交换和腔体清洁，一般泵体作业需要1-2天 时间。请注意所使用泵油的规格和用量；