超短脉冲激光对透明材料的破坏 - 上海光机所.PDF

第 29卷 　第 5期 激 　　光 　　技 　　术 Vol. 29,No. 5 2005年 10月 LA SER TECHNOLO GY O ctober, 2005 　　文章编号 : (2005) 超短脉冲激光对透明材料的破坏 1 1 1 1, 2 马法君 , 田友伟 ,何 　峰 ,陆培祥 ( 1. 中国科学院 上海光学精密机械研究所 强光光学重点实验室 ,上海 201800; 2. 华中科技大学 激光技术国家重点实验 室 ,武汉 430074) 摘要 : 基于固体的能带理论和能量守恒原理建立了一个描述激光与非金属材料作用时载流子随时间空间变化的理 论模型 。讨论了材料的破坏阈值 、烧蚀深度与激光脉宽、波长和强度之间的关系 , 同时也讨论了破坏阈值 、烧蚀深度与材 料禁带宽度等特性之间的关系 。讨论了多光子电离 、隧道电离和雪崩电离在激光对材料破坏过程中的不同地位 ,理论结 果表明 ,光电离在超短脉冲激光对非金属材料破坏过程中对破坏阈值的影响最大 。 关键词 : 光学材料 ;激光破坏 ;破坏阈值 ;烧蚀深度 中图分类号 : TN 244　　　文献标识码 : A Ultra short pulse la serinduced dam age in tran sparen t m a ter ia ls 1 1 1 1, 2 MA F a jun , TIAN You w ei , HE F eng , L U P eix iang ( 1. Shanghai In stitu te of Op tics and F ine M echan ic s, the Ch inese A cademy of Sciences, Shanghai 20 1800 , Ch ina; 2. N ational L aboratory of L a ser Technology, HU ST,W uhan 430074 , Ch ina) Ab stract: A theoretical model based on solid state energy band theory and energy con servation is develop ed wh ich can describe temporal and sp atial distribution of carriers in nonm etal m aterials du ring laserinduced dam age. The relation between dam age thre shold, ab lation dep th and laser pu lse duration, wavelength, energy fluence is studied w ith the model. The effects of the electron ic p rop ertie s of m aterial on dam age thre shold and ab lation dep th are also discu ssed. The resp ective role s of m u ltip hoton