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基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构.pdf
V01.18
第18卷第5期 上海电机学院学报 No.5
2015年 SHANGHAIUNIVERSITY 2015
JOURNAI.0F DIANJI
文章编号2095—0020(2015)05—0306—05
基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构
赵 阳1, 杨志和
(1.海拉(上海)管理有限公司,上海201203;
2.上海电机学院电子信息学院,上海201306)
摘要:当前半导体制造工厂的帝l造执行系统(MES)存在着许多问题。给出了半导体制造工
厂制造执行系统(MES)重构的约束条件和相关要求,提出了一种基于云计算的MES重构框架及其
技术路线;重构后的MES能够适应半导体制造企业当前的生产经营和不断发展的需求。
关键词:系统重构;制造执行系统;云计算;集成电路制造
中图分类号:F426.63;TP273.05 文献标志码:A
Restructureof ExecutionforSemiconductor
ManufacturingSystem
Com BasedonCloud
Manufactoryny Computing
2
ZHAO1,YANGZhihe
Yang
(1.Hella Center ofElectronic
201203,China;2.School
CorporateChina,Shanghai
Information 201306,China)
Engineering,ShanghaiDianjiUniversity,Shanghai
numberof marthesmooth of
Abstract:A execution
problems runningmanufacturingsystem
semiconductor ofthe
(MES)in conditionsandinfluencedfactors
manufactorycompany.Constrain
MES out.MES architectureandtechnicalrouteare
restructuringareseparated restructuring pro—
restructuredisableto of andcontinuousde—
posed.MES adaptneedspresentproductionoperation
insemiconductor
velopment manufactorycompany.
words:system
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