《硅材料与晶圆技术》课程教学大纲.doc

PAGE PAGE 3 《硅材料与晶圆技术》课程教学大纲 一、课程基本情况 课程名称 硅材料与晶圆技术 Silicon Material and Wafer Technology 课程编号 PH144041 学分 3 课程类别 □核心 □必修 ■任选 □限选 执行学期 7 课程学时 及其分配 总学时 学时分配 48 讲授 40 实验 0 实习 8 上机 0 开课单位 光电技术学院应用物理教研室 适用专业 光电技术学院应用物理学、材料物理专业 对应培养标准 1.3.1，2.1.1，3.1.2，3.2.3，4.3.1，4.3.2，4.5.2 先修课程 固体与半导体物理、材料科学基础、材料制备工艺学 教材与 参考文献 推荐教材： [1]《半导体硅材料基础》，尹建华，北京：化学工业出版社，2009 参考教材： [1]《硅材料科学与技术》，阙端麟，杭州：浙江大学出版社，2000 [2]《材料科学基础》，石德珂，机械工业出版社，2003 二、课程性质与作用 《硅材料与晶圆技术》是光电技术学院应用物理学和材料物理专业的专业方向选修课，是材料科学与工程学科工程领域技术人员的基本知识和基本能力的重要组成部分。通过本课程的学习，使学生了解硅材料的基本性质、硅材料制备基础理论，掌握多晶硅生产技术、单晶硅制备原理及方法，理解硅片加工技术，为将来工作打下良好的基础。 本课程与《新能源材料》、《光伏器件和光伏技术》、《材料性能学》、《现代测试分析技术》一起为《材料性能课程设计》和《光电子器件综合设计》提供必要的理论基础，为本专业工程实践一级和二级项目开展提供理论与研究方法的指导。 三、培养目标与对应指标 通过《硅材料与晶圆技术》课程的学习，使学生了解硅材料的基本性质、硅材料制备基础理论，掌握多晶硅生产技术、单晶硅制备原理及方法，理解硅片加工技术，为将来从事相关研究和实际工作打下良好的基础。 本课程具体完成培养方案中以下指标，重点完成指标1.3、4.3、4.5。 一级指标 二级指标 三级指标 达标方式 1. 技术知识 1.3 专业知识 1.3.1 材料物理方面的专业基础知识 I、T、U 2. 职业技能和职业道德 2.1 工程推理和解决问题 2.1.1 系统表述材料、器件、系统工程问题的能力 U 3. 人际交往与团队意识 3.1 团队精神 3.1.2 团队技术合作能力 T、U 3.2 交流能力 3.2.3 善于应用图表表达工程实际问题 4. 企业和社会的构思、设计、实施和运行系统 4.3 构思与工程系统 4.3.1 设立材料与器件性能的可行目标和要求 I、T、U 4.3.2 明确材料与器件系统的组成与结构 4.5 实施 4.5.2 掌握光电材料与器件的制造工艺 注：该表所列指标可对照培养方案中所列指标来解释。I：介绍，指从教、学活动中、从生活经验和社会经验等多种信息渠道获得知识，侧重知识的获取，没有实训要求。T：讲授，指教、学活动中由教师引导开展的基础测试或练习，匹配有课程讨论、课后研讨等环节。U：运用，指以学生为主导，通过实练而形成的对完成某种任务所必须的活动方式，匹配有课程的三级项目或其它实践环节。 四、理论教学内容与学时分配 章标题 章节主要内容（知识点） 重点、难点提要 学时 其他说明 第1章 概论 1、硅材料工业的发展 理解硅材料工业的发展。了解半导体市场及发展。 2 1) 讲授：硅材料工业的发展。 2) 课堂讨论：半导体市场及发展。 2、半导体市场及发展 3、中国扩建新建多晶硅厂应注意的问题 第2章 硅材料基本性质 1、半导体材料的分类及性质 深刻理解硅材料的结构特点，掌握硅的物理化学性质。 2 1) 讲授：半导体材料的分类及性质，硅材料的结构特点。 2) 课堂讨论：硅的物理化学性质。 2、硅的物理化学性质 2 3、硅材料的纯度及多晶硅标准 2 4、硅材料的结构特点 2 第3章 多晶硅材料的制取 1、冶金级硅材料的制取 掌握太阳能级及电子级多晶硅的制取。了解多晶硅产业的技术现状。 2 1) 讲授：太阳能级及电子级多晶硅的制取，多晶硅生产的技术评价。 2) 课堂讨论：多晶硅产业的技术现状。 2、高纯多晶硅的制取 2 3、太阳能级及电子级多晶硅的制取 2 4、多晶硅生产的技术评价 2 第4章 单晶硅的制备 1、结晶学基础 理解结晶学基础；掌握直拉法、杂质分凝和氧污染、直拉硅中的碳、直拉硅中的金属杂质；了解区熔法、磁拉法、连续加料法。 2 1) 讲授：区熔法、直拉法、杂质分凝和氧污染、直拉硅中的碳、直拉硅中的金属杂质。 2) 课堂讨论：单晶硅生产的技术现状。 2、晶核的形成 3、区熔法 2 4、直拉法 5、杂质分凝和氧污染 2 6、直拉硅中的碳 7、直拉硅中的金属杂质 2 8、磁拉法 9、连续加料法 2 10、单晶硅生产的技术评价 第5