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智能石英晶振真空计的软件设计
浙 江 大 学 学 报 工学版
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智能石英晶振真空计的软件设计
齐本胜 王华萍 凌明芳
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浙江大学 信息与电子工程系 浙江 杭州
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摘 要 介绍了用于石英晶振真空计的数据采集 气压频率非线性曲线拟合 低气压下温度补偿等诸多的软件设
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计 由单片机采集的经 转换后的输出信号 与石英晶振的谐振频率 由软件实现采集和滤波 采用定时中
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断和外部脉冲计数中断相结合的方法来提高采集的准确性J通过大量实验结果得出的气压 和 的关系曲线分
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段做非线性曲线拟合 当真空度小于 时启用事先在微处理器存入的表格进行温度补偿以拓宽测量下限 经
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测试 在 KY K# 内 本真空计的测量精度达
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关键词 真空计 智能 石英晶振 软件
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中图分类号A $#$? 文献标识码A 文章编号A#%%HBCF! $%%$’%#B%%Y$B%G
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