纳秒级强激光对多晶硅片光吸收性能的影响 - 激光与红外.PDF

第４１卷　 第９期 　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４１，Ｎｏ．９ 　 ２０１１年９月　 　 　 　　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１１ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１１）０９０９７９０４ ·激光应用技术 · 纳秒级强激光对多晶硅片光吸收性能的影响 １ １ １ １ １ ２ 许德富 ，尹少全 ，邓　迟 ，肖志刚 ，肖　啸 ，李育德 （１．乐山师范学院硅材料研究所，四川 乐山６１４００４；２．四川大学电子信息学院，四川 成都６１００６４） 摘　要：采用兆瓦级ＴＥＡＣＯ 激光器输出的纳秒级强红外激光脉冲照射太阳能多晶硅片，用 ２ 红外光谱仪测试了硅片的吸收谱，发现经激光脉冲照射后的太阳能多晶硅片对光的吸收能力 大为增强，并对实验结果做出了初步的分析。 关键词：红外激光脉冲；太阳能多晶硅片；吸收性能；实验研究 ＋ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１１．０９．００８ 中图分类号：ＴＮ２４８．２２；ＴＮ２４９　文献标识码：Ａ　 Ｉｍｐａｃｔｏｆｎｓｈｉｇｈｐｏｗｅｒｌａｓｅｒｏｎｔｈｅａｂｓｏｒｂｅｎｃｙｏｆｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ ｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｕｓｅｄｆｏｒｓｏｌａｒｃｅｌｌ １ １ １ １ １ ２ ＸＵＤｅｆｕ，ＹＩＮＳｈａｏｑｕａｎ，ＤＥＮＧＣｈｉ，ＸＩＡＯＺｈｉｇａｎｇ，ＸＩＡＯＸｉａｏ，ＬＩＹｕｄｅ （１．ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＳｉｌｉｃｏｎＭａｔｅｒｉａｌ，ＬｅｓｈａｎＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｓｉｃｈｕａｎ６１４００４，Ｃｈｉｎａ； ２．ＳｃｈｏｏｌｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｉｃｈｕａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈｅｎｇｄｕ６１００６４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｆｏｒｓｏａｌｒｃｅｌｌａｒｅｉｒｒａｄｉａｔｅｄｂｙｈｉｇｈｐｏｗｅｒｉｎｆｒａｒｅｄｌａｓｅｒｐｕｌｓｅ ｗｈｉｃｈｉｓｐｒｏｄｕｃｅｄｂｙＴＥＡＣＯｌａｓｅｒ．Ｔｈｅｐｕｌｓｅｄｕｒａｔｉｏｎｉｓｓｈｏｒｔｅｒｔｈａｎａｍｉｃｒｏｓｅｃｏｎｄ，ｓｏｉｔｉｓｎａｍｅｄｎｓｌａｓｅｒｐｕｌｓｅ． ２ Ｔｈｅｎｗｅｕｓｅｉｎｆｒａｒｅｄｓｐｅｃｔｒｏｇｒａｐｈｔｏｇｅｔｔｈｅａｂｓｏｒｐｔｉｏｎｓｐｅｃｔｒｕｍｏｆｔｈｅｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｉｒｒａｄｉａｔｅｄｂｙｎｓｉｎｆｒａｒｅｄｌａｓｅｒ ｐｕｌｓｅａｎｄｆｉｎｄｔｈａｔｉｔｓａｂｓｏｒｂｅｎｃｙｉｓｇｒｅａｔｌｙｉｎｃｒｅａｓｅｄ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔｓａｒｅｅｘｐｌａｉｎｅｄｗｉｔｈｔｈｅｏｒｙａｔｌａｓｔ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｎｆｒａｒｅｄｌａｓｅｒｐｕｌｓｅ；ｓｏｌａｒｃｅｌｌｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒ；ａｂｓｏｒｂｅｎｃｙ １　引　言 内复合以及表面复合［４］。体内复合主要有三种形 太阳能光伏发电作为一种新兴的绿色能源，以 式： 辐射复合，即导带电子跃迁到价带与空穴直接 ① 其永不枯竭，无污染，正得到迅速的推广应用，２０世 复合； 俄歇复合，即电