脉冲雷射以特定功率密度於水溶液、大气与真空环境 下剥蚀多晶钛靶之.PDF

黃俊傑等／南臺學報工程科學類 第1 卷第1 期 2016 年3 月 62 —74 62 脈衝雷射以特定功率密度於水溶液、大氣與真空環境 下剝蝕多晶鈦靶之微結構及相變態研究 1 2 黃俊傑、 *黃常寧 1 2 中山大學材料與光電科學學系、 南臺科技大學化學工程與材料工程系 *cnhuang@stust.edu.tw 摘要 以光學顯微鏡與電子顯微鏡觀察脈衝雷射單一脈衝剝蝕多晶鈦靶，在靶材表面可得剝蝕坑與熱影響 區，而其大小取決於雷射之能量密度與剝蝕過程所屬環境。 在不同剝蝕環境而相同雷射聚焦長度與功率 密度下，剝蝕坑直徑變小而熱影響區寬度變大，其程度依序為水溶液、空氣與真空環境。在高功率雷射 密度下剝蝕坑直徑變大於水溶液與空氣剝蝕環境，真空則維持不變，歸因於在此環境下具最小之雷射光 寬化效應；熱影響區變大於真空與大氣剝蝕環境，水溶液則維持不變，則歸因於此環境下有效之熱消散 效應。由電子繞射觀察於水溶液中雷射剝蝕鈦靶之橫截面，發現試片表面具較小之晶格間距，以 Birch-Murnagham 方程式計算其殘留應力達 17 GPa 。在掃描式與穿透式電子顯微鏡觀察熱影響區呈現凝 固與再結晶之組織，且形成次微米之Ti O 與Ti O 顆粒，這是由於在動態雷射剝蝕過程中高溫氧化所造成。 6 3 關鍵詞 : 脈衝雷射剝蝕、熱影響區、聚焦離子束、再結晶組織、Birch-Murnagham 方程式、電漿引發壓 力 Microstructure and Phase Changes of Polycrystalline α-Ti by Pulse Laser Ablation in Water, Air and Vacuum under Specified Power Density 1 2 Jun-Jie Huang, * Chang-Ning Huang 1Department of Materials and Optoelectronic Science, National Sun Yat-Sen University 2Department of Chemical and Materials Engineering, Southern Taiwan University of Science and Technology Abstract Polycrystalline -Ti plates subjected to pulse laser ablation in a single pulse of specified energies showed crater and heat affected zone (HAZ) whose dimensions depend on the adopted power density and environment according to optical and electron microscopic observations. The crater diameter decreases, whereas HAZ width increases, in the order of water, air and vacuum environment under the sa