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ELIAS Emission LIne Analyzing Spectrometer 发射谱线分析光谱仪 特点 - 高光谱分辨率，高达4级的动态范围 - 高成像质量 - 工业应用 ELIAS是一台极高分辨率的中阶梯光栅光谱仪。它 被用于发射和吸收光谱的高分辨光谱测量，特别是测量 激光。借助 CCD可以测量谱线轮廓和激光谱线边模信 息，信噪比达到 40,000。 这使它成为除了使用F-P光 谱仪之外可以定量分析激光光谱的侧翼以及周边信息的 手段。 ELIAS光谱仪最主要的应用领域是准分子激光光刻。 原因在于它的色差，步进式晶片曝光机的折射投影系统 需要超高光谱纯度的光源， ELIAS的竞争优势在于帮助 准分子光刻生产商提供最低谱宽的辐射源。除此外，它 也适用于测量半导体激光器以及固体激光器和光谱灯的 光谱和时间稳定性。 概述 中阶梯光栅通过大量高干涉级次衍射光，来实现非常高的理论分辨率。 中阶梯光栅光谱仪要达到理论分辨力，光学系统和光谱仪必须符合两个要求。 首先，要获得接近衍射极限的像，第二，线性色散必须足够好，使谱线的半高宽能覆盖典型线阵探测器5-10个像素点。对 于ELIAS，使用360mm宽中阶梯光栅，在littrow结构上可实现单通或双通，通过软件控制电机来完成。这种方式可以实现谱线的 极高分辨率下的轮廓特征，又能在较低分辨率下实现大测量波长范围和高灵敏度。该系统具备极高热稳定性和机械稳定性。 全电动控制可以进行简单操作。同时可以实现在探测器上自动聚焦和光谱定位， 用宽带UV膜反射镜消色差，实现大的波长范围。入射光通过SMA光纤耦合或导光镜输入到光谱仪。 CCD/ICCD相机 折叠镜 柱面反射镜 中阶梯光栅 柱面反射镜 s 光纤输入 r 入口狭缝 e t e m o r t c e 反射镜 p 离轴抛物面镜 S 折叠镜 分辨率可达22fm （ELIAS-III） 光学原理图 9 瀚宇科技(香港)有限公司 sales@ 探测器: CCD 阵列探测器 ELIAS I: 1,024 像素 ELIAS II/III: 2,048 像素 动态范围: 16 位 A/D 转换, 约. 33,000:1 信扰比: 40,000，优于10,000/40dB 最短曝光时间： ELIAS I: 18 ms ELIAS II/III: 2 ms 集成机械快门 用内部汞灯进行校准，绝对精度优于 ±5pm 通过光纤耦合, 除了 ELIAS-VUV 之外 (导光镜) 相对像素分散误差取决于波长, 193 nm 双通 ≤ 0.2 fm 通过汞灯校准波长 (253.652 nm) 装有 Windows 的工业计算机 软件：Sophi, 也可选 LabView 驱动 常规 ELIA