chap10 纳米测量技术.pdf

第10章 纳米测量技术 纳米科学技术的发展涉及到微电子学 光学 材料学 机 械学 生物与生命科学等科学研究和工业领域 它们都要求提 供纳米 甚至亚纳米计量测试手段 发展与之相适应的纳米计 量学理论和能够溯源的纳米 亚纳米计量测试技术 已成为一 项迫切需要解决的重要任务 1981年IBM公司成功地研制了世界上第一台扫描隧道显微 镜 STM 使人类有史以来第一次能够实时地观察到单个原 子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理化学性 质 此后 一系列能检测到原子量级的检测技术 如原子力显 微镜 AFM 扫描近场光学显微镜 SNOM 光子扫描隧 道显微镜 PSTM 等相继出现 人类可以按自己的意愿直接 操纵单个原子或分子 从而制造出具有特定功能的产品 G.Binning 和H.Rohrer也因此而获得了1986年的诺贝尔物理奖 此后 一系列能检测到原子量级的检测技术 如原子力 显微镜 Atomic Force Microscope AFM 扫描近场光学 显微镜 Scanning Near-Field Optical Microsope SNOM 光子扫描隧道显微镜 PSTM 等相继出现 从而在本世纪最 后十年 诞生了一门全新的学科 ―纳米计量学 在20世纪初 精密机械的制造精度 包括系统误差和随 机误差 仅为10 μm左右 发展到90年代 已提高到了几个 nm 而预期到21世纪初 将达到纳米甚至亚纳米量级 可见 研制可用地被加工件在线或离线测量的长度 位移纳米测量 系统是非常需要的 第1节 纳米表面形貌分析仪器 一 扫描隧道显微镜 STM STM的发明使人类第一次能够实时地观测单个原子在物质 表面的排列状态和与表面电子行为有关的物理 化学性质 在物理 化学 表面科学等众多领域的研究中有着重大的意 义和广阔的应用前景 被国际科学界公认为二十世纪八十年 代世界十大科技成就之一 发明者G.Binning和H.Rohrer也因 此获得1986年的诺贝尔物理奖 STM的基本原理是量子隧道效应 当金属探针针尖与导 电样品表面的距离非常接近时 小于1nm 作为两个电极 的探针和样品之间就会有电子穿过势垒 形成隧道电流 其 电流密度为 2 2 ⋅ π ⋅ ⋅ − j (e / h) (k / 4 ) V exp( 2k s) 0 b 0 Vb 为针尖与样品间的偏置电压 V k0 0.5 1.025 0.5·( 1+ 2), 1 2 分别为探针和样 品的功函数 eV s 为探针和样品间距 nm e 为电子电量 h 为普朗克常数 STM原理结构示意图 由上式可知 隧道电流对针尖与样品间的距离非常敏感 s减小0.1nm 隧道电流将增加一个数量级 利用这一关系即 可通过距离s或电流密度j 的变化检测样品表面的起伏 常见的2种扫描方式 1 恒电流模式 当探针针尖在XY方向扫描时 利用电子反馈线路控制压电陶瓷 使探针升降以保持隧道电流恒定 则探针在垂直于样品方向上 高低的变化就反映出样品表面的起伏 从而得到样品表面态密 度的分布及原子排列图像 这种扫描方式可用于观察表面形貌起伏较大的样品 且可通 过加在z 向驱动器 压电陶瓷 上的电压值推算表面起伏高度 的数值 STM扫描模式示意图 - 恒电流模式 2 恒高度模式 对于起伏不大的样品表面 可以控制针尖高度守恒扫 描 由隧道电流的变化亦可得到表面态密度的分布 这种 方式扫描速度快 能减少噪声和热漂移对信号的影响 但 检测范围