时栅传感器动态测量误差补偿.pdfVIP

第23卷第4期 光学精密工程 Vol_23No．4 andPrecision 2015年4月 Olptics Engineering Apr．2015 文章编号1004—924X(2015)04—1114—08 时栅传感器动态测量误差补偿 孙世政1’2，彭东林弘，郑方燕2…，武亮2 (1．合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥，230009； 2．重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程中心，重庆，400054； 3．重庆理工大学时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室重庆400054) 摘要：针对动态测量误差特点，提出了对系统误差和随机误差分别进行建模和组合补偿的思想来提高时栅传感器的动态 测量精度。对具有周期性变化特征的系统误差采用傅里叶级数逼近的方法进行建模，运用最dx--乘求解超定方程组的 方法计算出系统误差的补偿参数。对于系统误差补偿后残留的随机误差采用灰色预测GM(1，1)模型进行预测，通过模 型残差检验和修正提高预测的准确度。实验结果表明，利用傅里叶级数逼近模型有效地补偿了系统误差，误差由士35” 降至±7．8”，通过最小二乘参数寻优得到的补偿参数与传感器实际的误差成分相吻合；灰色预测模型则很好地预测补偿 了残留的随机误差，误差由±7．8”降至土3”。得到的结果表明，利用这种对误差分别建模和补偿的方法大幅度地降低了 动态测量误差，有效地提高了传感器的测量精度。 关键词：时栅传感器；位移测量；动态测量误差；系统误差；随机误差；傅里叶级数逼近；GM(1，1)模型 文献标识码：A doi：10．3788／OPE1114 中图分类号：TP212．12 for measurementerrorsoftime sensor Compensationdynamic grating SUN Lian92 Shi—zhen91一，PENGDong—lin¨，ZHENGFang—yan2～，WU (1．SchoolInstrumentScienceand of OptoelectronicEngineering， 230009，China； HefeiUniversityofTechnology，Hefei ResearchCenterMechanical and the 2．Engineering of TestingTechnologyEquipmentof 400054，China； MinistryofEducation，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing andAdvanced 3．ChongqingKeyLaboratoryofTime—gratingSensing TestingTechnology， 400054，China) ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing *Co，．rPs户。行di以gautho