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在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪_梁嵘
19 7 Vol. 19, No. 7
1999 7 ACT A O PT ICA SIN ICA July , 1999
在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪
梁 嵘 李达成 曹 芒 赵洪志 武勇军
(, 100084)
、 。
( 25 × 20 × 10 )、 。。
m m m
, 。
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。 0. 39 nm 0. 73μm; ±0. 5 mm ,
±25μm, 1μm; 80: 3e= 1. 95 nm。
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1
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[2 ] [3]
Huang , 、
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2
1。 780 nm , 10 mW。
, (f 0 ) , 1
BS
AOM1 (f 1 = 100 M Hz) AOM2 (f 2 = 98 M Hz)。 AOM1
(f 0 + f 1 ) , ,
: 1998-03-09; : 1998-06-05
7 : 959
Fig. 1 Th e s hemati diagram of om mon path heterodyne laser interferometer
。, AOM2 (f 0 + f 2 ) , , L1
F, , 。
2 2 1
BS BS , PD ,
[ 2]
, :
I1∝ 1+ os [2π(f 1 - f 2 )t - Op ] ( 1)
, Op 。
, 、λ/4 2 ,
BS
PBS1。λ/4 , 90°, PBS1
2 , , :
PD
I2 ∝ 1+ os [2π(f 1 - f 2 )t - Op - Oh (x ) ] ( 2)
h
, O(x ) , x
。
h (x ) , λ
, :
Oh (x ) = 4πh (x ) /λ ( 3)
, , 。
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。
, , 2 2
BS PBS
, 。,
[ 4]
, ( PI),
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3
±0. 5 mm, ±25μm , 1μm , 3 d B
960 19
40 Hz; 80: 3e= 1. 95 nm。
0. 39 nm 0. 73μm。
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