半导体数字集成电路测试技术概要(题库.pptVIP

半导体数字集成电路测试技术概要(题库.ppt

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TTL和CMOS电路的扇出是不同的,多数CMOS电路拥有高阻抗的输入结构,其扇出实际上是不受限制的,换句话说,只要时间上足够,一个CMOS的输出能驱动任意多的CMOS的输入。CMOS的输入如同电容,越多的输入连到一起,电容值越大。驱动这个大“电容”的前端的输出就需要足够的时间对其进行冲放电——逻辑0到1的转换时,充电将电平拉高至VIH;1到0的转换时,则放电将电平拉低至VIL。同样,在测试时器件的输出要克服测试系统输入通道上的寄生电容。 第四章.DC参数测试- High Impedance Currents, IOZH/IOZL 高阻电流(High Impedance Currents, IOZH/IOZL) ?????? IOZL指的是当一个低电平(L)施加在一个处于高阻态(Z)的输出管脚(O)上,管脚上产生的漏电流(I);与之相似,IOZH指的是当一个高电平(H)施加在一个处于高阻态(Z)的输出管脚(O)上,管脚上产生的漏电流(I)。 测试目的 ?????? IOZ测试的目的是确保器件输出管脚被预置为高阻态时,其输出阻抗足够高,或者说管脚能处于“关闭”状态。IOZL测试测量的是处于高阻态时输出管脚到VDD的阻抗,IOZH测试测量的则是输出管脚到GND的阻抗。它们实质上是确定输出管脚关闭时的阻抗满足设计要求,以保证管脚上不会产生高于规格书定义的漏电流。这也是发现CMOS器件制程缺陷的好方法。下表是IOZ定义的例子: Parameter Description Test Conditions Min Max Units IOZ Output Current High-Z VSS ≦, Vout ≦VDD = 5.25V Output Disabled -2.0 +2.0 uA 测试方法 1、? 串行/静态测试法 ????实施IOZ测试时,施加VDD,运行将器件管脚预处理到高阻态的向量。DC测试系统(如PMU)依次驱动高电平和低电平到某个待测管脚,测量电流值,然后将测量值与规格书中的边界值相比较,并判断测试通过与否。此过程不断重复直到所有的高阻态管脚均测试完毕。测试时确定VDD、VOZ(voltage applied to the output)施加正确,并检查程序中电流边界设定正确与否;此项测试要求设定电流钳制。 ??? 与之前的DC类测试相似,串行测试法的优点在于能够独立测试每个管脚,缺点也是测试时间的问题。 2、? 并行测试法 ??? 一些测试系统拥有并行DC测试的能力,如per pin PMU结构的测试系统,用它们进行IOZ测试则简单的多:施加VDD,运行预处理向量,先向所有的待测管脚同时施加低(或高)电平,测量电流值,并将测量值与规格书定义的测试边界相比较,判断测试通过与否;再同时施加高(或低)电平,重复上一操作。 ??????????? 优缺点相信大家都清楚:节省了测试时间,但是测试系统本身成本高 注:a. 之前提到的集体测试法不能运用于IOZ测试。 ?????? b. 测试前仔细阅读相关文档,确定哪些管脚需要测试。 ?????? c. VDD施加VDDmax ;施加到管脚的电平,高对应VDDmax,低对应0V 阻抗计算 ??? 前面说过,IOZ测试的实质是测量高阻态下的输出管脚的相关阻抗。由欧姆定律R=V/I可知,图中的最小阻抗为2.625Mohm,当实际阻抗低于此值,测试将会fail. 一般来说,CMOS器件的输出阻抗范围在20M-50Mohm之间,因此高阻态下的输出阻抗会更高,基本上远远高于器件规格书中的定义值。 当测试不通过的情况发生,我们首先要找找非器件的原因:将器件从socket上拿走,运行测试程序空跑一次,测试结果应该为0电流;如果不是,则表明有器件之外的地方消耗了电流,我们就得一步步找出测试硬件上的问题所在并解决它,这和我们之前介绍的电流类测试是一致的。 ?故障寻找 ??? 打开datalogger观察IOZ测量结果,测试某个器件后,其测试结果不外乎以下三种情况: ??????? 1.? 电流在正常范围,测试通过; ??????? 2.? 电流高于上限或低于下限,测试不通过,但是电流在边界附近或在机台量程之内,偏差较小; ??????? 3.? 电流高于上限或低于下限,测试不通过,且电流不在边界附近或在机台量程之外,偏差较大。 第四章.DC参数测试- IOS test 输出短路电流(output short circuit current) ?????? 输出短路电流(IOS),顾名思义,就是输出端口处于短路状态时的电流。下面是一款器件的规格书中关于IOS的部分: Parameter Description Test Conditions Min

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