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奈米技術實習第2次報告
南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 四奈米三乙
組長 張鈞皓 (學
組員 涂智清 (學
陳建瑋 (學
韓先揚 (學
指導老師:李友竹
實習題目：PVD真空鍍膜與真空幫浦機油更換
實習日期：101年 10 月 19 日
緣由
PVD(物理氣相沉積)是指在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制做技術，其實在我們日常生活中，這項技術已經與我們息息相關了，從智慧型手機、眼鏡、燈泡、塑膠等，到機械、電子、航
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