方法1.3粒子(束)与的相互作用题库.pptVIP

u 固体原子可以以原子态、正离子或负离子态溅射出去，也可以以中性原子团或离子态原子团的形式溅射出去。不同形态的溅射粒子间的比率与入射离子的性质和溅射条件有关，也受固体样品本身的性质和表面状态的影响。入射离子与材料相互作用产生的信号及依次建立的分析方法在表中概括列出。 u 固体表面原子以离子态发射叫做二次离子。收集分析二次粒子得到二次离子质谱，它可以用于分析所有元素（包括氢和所有同位素）。二次离子质谱的背底信号很小，它的分析极限可以到10-6～10-9g的元素含量，所以可有效地用于半导体材料的痕量分析。二次离子质谱目前包括微区分析、纵深剖析、三维实时成像、界面分析、同位素分析等 2．二次离子 表 离子与材料相互作用产生的信号及据之建立的分析方法 信号 分析方法 离子 初始离子 ISS 离子散射谱 二次离子 SIMS TOF-SIMS 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱 中性粒子 原子、分子 SNMS 二次中子粒子质谱 返回总目录 返回本章目录 本 章 结 束 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量， 鼓舞我们前进。 * §3.1 电子束与材料的相互作用 §3.2 离子束与材料的相互作用 返回总目录 在材料现代分析方法中，电子束是一种常用的入射激发源之一。入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子相互作用，它包括： 入射电子的散射 ? 入射电子对固体的激发 ? 受激发粒子在固体种的传播 电子散射源于库仑相互作用，它不同于光子在固体种的散射。 散射——入射电子照射固体时将与固体中的电子、原子核等作用而产生的现象。与辐射的散射一样，电子散射同样有弹性和非弹性散射之分。 3.1.1 散 射 §3.1 电子束与材料的相互作用 设原子的质量为M ，质量数（质子数与中子数之和）为A，碰撞前原子处于静止状态。电子质量与原子质量的比值为me/M=1/1836A. 根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子（核）碰撞后的最大能量损失可表示为 （1） 式中：E0—— 入射的电子能量； θ—— 半散射角，散射角（2θ）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹角。 以100keV的电子为例，对于小角度散射（θ 5°），电子的能量损失在10-3～10-1eV的范围；对于背散射电子（θ≈π/2）,能量损失可以达到几个eV。可见电子的能量损失入射能量相比，完全可以忽略。因此，原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射。 1.弹性散射 非弹性散射——当入射电子与原子中电子的作用称为主要过程时，由于作用粒子的质量相同，散射后入射电子的能量发生显著变化的过程。 在非弹性散射过程中，入射电子把部分能量转移给原子，引起原子内部结构的变化，产生各种激发现象。因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。电子激发是非电磁辐射激发的一种形式。 2.非弹性散射 入射电子被原子核散射时，散射角2θ的大小与瞄准距离（电子入射方向与原子核的距离）rn 、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关。如图所示，其关系为 或 （2） 由上式可知，当入射电子作用在以原子核为中心、rn 为半径的圆内时将被散射到大于2θ的角度以外，故可用πrn2(以原子核为中心，rn 为半径的圆的面即)来衡量一个孤立原子核把入射电子散射到大于2θ角度以外的能力。由于电子与原子核的作用表现为弹性散射，故将πrn2叫做弹性散射截面，用σn表示。 3. 散射截面 当入射电子与核外电子作用时，散射角为： 或 （3） 同理，可用πre2(re是入射电子对核外电子的瞄准距离)来衡量一个孤立何外电子把入