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操作手册 LPS 1 等离子体发射源 生产商： Roth Rau AG Gewerbering 3 D-09337 Hohenstein-Ernstthal OT Wuestenbrand Germany 目录 安全指示 …………………………………………………………………………………………… 3 介绍 …………………………………………………………………………………………… 3 安全标志 ……………………………………………………………………………………… 3 描述 ………………………………………………………………………………………………… 4 概要 …………………………………………………………………………………………… 4 线型微波等离子体发射源类型 …………………………………………………………… 5 线型微波等离子体的产生 ……………………………………………………………………… 6 技术数据 …………………………………………………………………………………………… 9 概要 …………………………………………………………………………………………… 9 性能 …………………………………………………………………………………………… 10 电气数据 ……………………………………………………………………………………… 10 连接 …………………………………………………………………………………………… 10 气体连接 ………………………………………………………………………………… 10 水路连接 ………………………………………………………………………………… 10 组装 ………………………………………………………………………………………………… 11 设备维护 …………………………………………………………………………………………… 12 石英管的拆卸 ………………………………………………………………………………… 13 沉积罩的拆卸 ………………………………………………………………………………… 15 等离子体发射源的清洗 ……………………………………………………………………… 16 沉积罩的替换 ………………………………………………………………………………… 17 玻璃石英管的替换 …………………………………………………………………………… 17 安全性能 ……………………………………………………………………………………… 21 备配件 ………………………………………………………………………………………………… 22 介绍 …………………………………………………………………………………………… 22 备配件清单 ……………………………………………………………………………………… 22 推荐备配件 …………………………………………………………………………………………… 27 配图目录 图1：线型微波的图解和部件图 …………………………………………………………………………… 4 图2：线型微波等离子体发射源的工作原理 …………………………………………………………… 5 图3：配备一个石英管的LPS1型微波等离子体发射源的典型断面图 ………………………………… 5 图4：线型微波等离子体产生的原理 ……………………………………………………………………… 6 图5：以时间为函数的典型的脉冲微波 ………………………………………………………………… 7 图6：覆膜均匀性和沉积率的独立控制效果示意图 ……………………………………………………… 8 图7：SiNA型LPS1等离子体发射源的尺寸图 …………………………………………………………… 9 图8：SiNA型LPS1线型等离子体发射源 ………………………………………………………………… 11 图9：SiNA系统中整合的小型微波发射头（MW head）…………………………………………………… 13 图10：在工作位置和维护位置配有铜质天线的小型微波发射头 ……………………………………… 13 图11：完整的等离子体发射源（左图）和没有横向沉积罩的等离子体发射源（右图）……………… 14 图12：卡口锁定机械装置 ………………………………………………………………………………… 14 图13：设备维护位置时的卡口锁定机械装置 …………………………………………………………… 14 图14：防护罩固定器专用的特殊工具（左图）设备维护和工艺操作时的位置 ……………………… 15 图15：关闭的氨气吹淋喷头孔（左图）部分关闭的硅烷气体吹淋喷头孔（右图）…………………… 16 图16：工艺反应仓仓壁上的微波发射头法兰接口 ……………………………………………………… 16 图17：所有装