用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术.pdfVIP

谢渺随‘ ‘，—-—-————————·———————·————————--——-—-————————————————————————————————————————————’——————————————————一 用于微电子制造的高速高精度运动 系统关键技术 史长虹， 汪劲松 (清华大学深圳研究生院， 广东深圳518057) 摘要：从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动 系统关键技术进行综述。提出有待深入研究的方向：1)并联机构在系统中的应用；2)解决柔性结构振 动问题的控制策略；3)用丁实时动态全闭环控制模式的视觉伺服技术。 关键词：微电了制造；高速；高精度；关键技术 中图分类号：TN405 文献标识码：A of and motion Keytechnologieshighspeedhighprecisionsystem for manufacture microelectronic SHI Chang_hong，WANGJin-song (Gr口d“Ⅱf￡sc^Do，df s^Pn：^Pn，5l8057 c^fHd) s^眦^…nfn曲ⅣⅡunfre，jf廿， Abstract：The andrealtimemonitorof and driver，control design， strategy highspeedhigh motion arereviewedinthe andsome toberesearchedare precisionsystem paper aspects presented， mechanisminthe and motion namely，1)theapplicationofparallel highspeedhighprecisionsystem， control forvibrationabatementofflexible serVoforrealtimeand 2)the strategy stnlcture，3)Visual closed dynamicloopsystem． words：microelectroⅡicmanufacture， high keytechnologies Key speed，highprecision· 高速高精度运动系统关键技术就是其rI，一个重要问 1 引言 题。研究此项技术的日标是建立电子封装设备高加 以集成电路IC制造以及微机电系统制造为代表 速度、高精度往复运动系统的运动学、动力学理论 的电子制造不仅对国民经济有巨大的影响．而且对 模型，提出高精度微操作理