半导体硅片事业部-杭州大和热磁电子有限公司.PPT

半导体硅片事业部 1、简介 2、主要产品 3、精英团队 4、质量认证 5、环境控制 6、品质监测 7、主要测量设备概览 8、产品控制ERP系统 9、硅片产品处理流程 10、联系我们 硅材料事业部简介 FTS半导体硅片事业部由东芝陶瓷株式会社（现更名为Covalent）、三井物产有限公司，Ferrotec集团共同出资组建。在2002年引进日本东芝陶瓷生产线和技术，并推出了4至6英寸硅片的生产。这是第一家外商独资??企业在中国大陆最大的晶圆制造工厂。 2002年开始硅片项目。 2004年完成第一期投资，每月产能300000pcs抛光片。 2006年完成第二期投资，每月产能400000pcs抛光片。 2010年从Covalent（原东芝陶瓷株式会社）引进多晶体技术，开始自己的晶棒拉制业务。 Ferrotec Semiconductor Wafer Department is invested by Toshiba Ceramics (renamed as Covalent), Mitsui Co., Ltd. and Ferrotec Group. It introduced 4 to 6 inches silicon wafer production line and technology from Toshiba Ceramics of Japan in 2002. It is the first wholly foreign-owned and biggest wafer manufacture company in China Mainland. ??2002 Silicon wafer project press conference and begin ??2004 First part completed, Polished wafer 300,000 pcs/month ??2006 Final completed, Polished wafer 400,000 pcs/month ??2010 Introduction of crystal technology from Covalent, start own brand business. 主要产品 4英寸、5英寸、6英寸硅片 100mm、125mm、150mm Silicon Wafer 搀杂剂：硼/磷，砷，锑等等。 Dopant：Boron/ P-,P+,P++; As, Sb/ N+, N++ 精英团队 Ferrotec硅材料事业部是由一个有丰富晶圆制造经验、技术力量强大的团队组成。超过30％的工程师、技师和质量检查人员在日本接受过至少三个月的专业培训。 Ferrotec Silicon Wafer Manufacture Department has a strong team with long wafer manufacturing experience. Over 30% engineers, operators and inspector had a long time training in Japan. 质量认证 质量是我们的生存的关键 质量是我们的成长的根本 质量的理念首先是在生产的每一个过程。?ferrotec是致力于不断提高产品质量，以满足客户的需求，超越客户的期望。 环境控制 由东芝空调，中国电子工程设计院提供环境控制。净空房的面积：1000级净空房有650平方米（退火，CVD，包装）100级的净空房490平方米（最终洗净和最终检查）纯水：Kurita的水，工艺气体：液态空气支持系统24小时监控，净空房颗粒计数器实时监控空气分析，ICS-1000（NOx/SOx/NH3），生产现场有温度，湿度监视器 By Toshiba air conditioner、China Electronics Engineering Design Institute Clean room size：Class-1000 650m2 (Anneal, CVD, Packing) Class-100 490m2 (final clean, inspection) DI water：Kurita water，Process Gas：Air Liquid Support system monitor，Clean room particle counter Air analyst ICS-1000（NOx/SOx/NH3），Temperature、moisture monitor 品质监测 ferrotec配备全套先进的测量和检测设备，生产装置系统在制造过程中追求最高质量标准，以达到同行业中不可替代的竞争优势。 主要的测量设备 产品