导电Si3N4 基复相陶瓷研究进展 - 现代技术陶瓷.PDF

第37 卷 第2 期 现 代 技 术 陶 瓷 Vol. 37 No. 2 2016 年4 月 Advanced Ceramics April 2016 中图分类号： TB321 文献编号： 1005-1198 (2016) 02-0094-13 文献标识码： A DOI ： 10.16253/j.cnki.37-1226/tq.2016.02.001 导电Si N 基复相陶瓷研究进展 3 4 郭伟明，古尚贤，苏国康，李景曦，林华泰，伍尚华 广东工业大学 机电工程学院，广州510006 摘 要：Si N 陶瓷具有优异的力学性能和导热性能，然而其固有的高硬度和脆性极大地限 3 4 制了其加工性能。通过添加导电相改善Si N 陶瓷的导电性能可实现对Si N 陶瓷的电火花加工。 3 4 3 4 添加的导电相主要包括钛基化合物 (TiN 、TiC 、TiCN 、TiB ) 、锆基化合物 (ZrB 、ZrN) 和MoSi 2 2 2 等导电陶瓷以及碳纳米管(CNT) 、碳纳米纤维 (CNF) 、石墨烯纳米片 (GNP) 等导电碳基纳米材 料。本论文详细回顾了Si N 基导电陶瓷的研究进展，并对今后Si N 基导电陶瓷的发展趋势进 3 4 3 4 行了展望。 关键词：Si3N4 基陶瓷；导电陶瓷；碳基纳米材料 Si N 陶瓷具有低密度、低热膨胀系数、高硬度、高耐磨、高强度、高导热、优异的抗热震和抗 3 4 氧化性能等特性，是一种理想的结构陶瓷材料，广泛用于航空航天、机械工业、装甲等领域。此外， 其优异的力学性能和高导热特性使其成为理想的散热材料，成功应用于大功率LED 和IGBT 散热基 板等领域。 由于固有的高硬度和脆性，Si3N4 陶瓷传统加工采用金刚石工具进行磨削和切割，加工效率和加 工精度低，加工成本高，可靠性差，难以加工形状复杂的零部件。通过在Si3N4 陶瓷中引入导电相， 可以使其具有良好的导电性能，实现电火花加工，进而改善Si3N4 陶瓷的加工性能，尤其是复杂形状 的加工能力。图1 为由 Si N TiN 复相陶瓷制成的涡轮机叶片，其复杂的三维几何形状就是基于复 3 4 [1] 相陶瓷的导电性、通过电火花铣削加工实现制备的 。 自上世纪80 年代起，国内外科研工作者开始在Si3N4 基体中引入钛基化合物 (TiN 、TiC、TiCN、 TiB 等) 、锆基化合物 (ZrN 、ZrC 、ZrB 等) 或MoSi 等导电陶瓷相作为第二相，制备 Si N 基导电 2 2 2 3 4 陶瓷，实现电火花加工。大量研究表明，上述导电陶瓷相不仅能改善Si3N4 陶瓷的导电性能，还能显 著改善其力学性能。进入21 世纪后，随着以碳纳米管 (Carbon Nanotubes, CNT) 、碳纳米纤维 (Carbon Nanofibers, CNF) 、石墨烯纳米片 (Gra