长行程奈米定位平台之实作与测试-首页.PDFVIP

長行程奈米定位平台之實作與測試長行程奈米定位平台之實作與測試 長行程奈米定位平台之實作與測試長行程奈米定位平台之實作與測試 吳忠倫 陳朝榮 張良知 何信佳 工研院量測中心 工研院量測中心 工研院量測中心 工研院量測中心 cl.wu@.tw Chao-Jung.Chen@.tw chang0537@.tw hsinchiaho@.tw 摘要摘要 摘要摘要 在奈米科技領域裏 ，不論是奈米測量、操控或加工，都需要高精度的奈米定位平台爲載具。高科 技產業如半導體製造的步進機 、掃描探針顯微鏡、精密尺寸量測、及奈米壓印等都需要一準確度高的 精密定位技術才能提高製程良率和得到清晰的顯微影像 ，在定位技術上，可以作到高解析時，一般只 能作到短行程如數百微米 ，較難作到毫米以上的行程又能作到高解析及能獲得高穩定的顯微影像及準 確度 。如能解決長行程且具有高解析及高穩定度的定位技術，將有助於在未來高科技中精密定位技術 的發展 。 精密定位平台是機械加工 、尺寸量測、和自動光學檢測儀器必須的基本工具之一，在短行程定位 技術上多以壓電傳感器 PZT(如原子力顯微鏡)為主 ，在需要長行程及次微米高解析和高準確度的定位 有步進機所採用的靜氣壓軸承配合線性馬達 。需要奈米解析度及穩定度的奈米定位技術是現在各主要 研究機構的研究主題，如德國Ilmenau 科技大學發展的奈米量測及定位技術[1]、美國University of North Carolina at Charlotte 發展的多軸超精密定位技術[2] 、美國NIST 的 Molecular Measuring Machine[3]等， 有的是利用尺蠖式驅動器和滑軌作粗定位及 PZT 配合雷射干涉儀作最後的奈米定位、有的是利用音圈 馬達和雷射干涉儀及 Zerodur 結構作奈米定位 、有的是以磁浮式驅動。本研究擬以強磁性氣浮導螺桿 驅動 ，及自行設計的雙框架單移動台兩軸獨立驅動定位機構 ，研製長行程奈米平台定位技術 ，應用於 需要高穩定度及高準確度的微/奈米加工及顯微量測的精密定位 。 關鍵字 ：長行程奈米定位 、強磁性氣浮導螺桿、雙框架單移動台兩軸獨立驅動 壹、壹 、 前言前言 壹壹 、、 前言前言 長行程奈米定位平台的研究以一維居多 ，且以長行程的粗位移加上微動位移的兩段式定位為主： 長行程可由伺服馬達驅動導螺桿 、或線性馬達配上空氣軸承及導軌、或是音圈馬達配上導軌等機 台來達到 ，微動台則多以壓電陶磁驅動；也有用PZT 蠕動方式(Inch-worm motion)或摩擦驅動 (Friction drive)直接長行程定位 ；而位移感測器則均採用雷射干涉儀 ，他們的不確定度為1 nm 到 50 nm ，主要係因為這些驅動方式與位移感測方法，雖可達公分級以上長行程的位移及奈米級解 析度 ，但驅動機構和雷射干涉儀容易受環境影響而呈現數nm 至數十 nm 的不穩定 ，因此往往不 易提供奈米或是奈米以下定位的應用 。 在長行程奈米定位技術上 ，長期定位穩定性、準確度、和高解析度是最困難的技術，本研究 中為解決長行程高解析的機械磨擦及滯滑現象 ，採用俄羅斯Amphora 新開發的強磁氣浮導螺桿 和多孔性空氣軸承，再配合計畫團隊研發的 “雙框架單移動台兩軸獨立驅動之共平面移動機 構” 、DSP 即時控制技術等技術 ，研製超穩定超解析之奈米定位技術。將可提供超穩定奈米定 位平台技術 ，有助於國內製造產業升級 ，實現更高精度 、快速的奈米量測 。 貳、貳 、 研究方法研究方法 貳貳 、、 研究方法研究方法 一、一 、 系統硬體架構系統硬體架構 一一 、、 系統硬體架構系統硬體架構 剛體運動每一軸都可能有六個 自由度的誤差產生 ，亦即一個定位誤差 、兩個直線度誤差 、 三個角位移誤差 。當運動導引面不平直時 ，實際工件位移量會和裝置於導軌邊的位置感應 器所感應