脆性材料截面透射电镜样品的制备-材料与测试网.PDF

脆性材料截面透射电镜样品的制备 ， ， ， １２ １ １２ １ ３ １２ 王燕飞 ，黄宛真 ，郑遗凡 ，胡仙超 ，苏伟涛 ，杨 倩 　 （ 浙江工业大学 分析测试中心，杭州 ； 浙江工业大学 化学工程与材料学院，杭州 ； １． ３１００１４ ２． ３１００１４ ３．杭州电子科技大学，杭州 ３１００１４） 针对脆性材料截面透射电镜样品制样难的问题，详细介绍一种改进的离子减薄法制备 摘 要： 　 脆性材料截面ＴＥＭ样品的方法，即先制备层叠矩形薄片，然后使用低速锯切取出层叠薄片，再用 切割工具切割出３ｍｍ的圆片，最后采用凹坑研磨和抛光及离子减薄