第6章 - 霍尔传感器.ppt

第六章　霍尔式传感器;;;一、霍尔效应;二、工作原理:; 设霍尔元件为N型半导体，当它通以电流I时，半导体中的自由电荷即载流子(电子）受到磁场中洛仑兹力 的作用，其大小为 式中： 为电子速度，B 为垂直于霍尔元件表面的磁感应强度。使电子向垂直于B和自由电子运动方向偏移，其方向符合右手螺旋定律或左手定则，即电子有向某一端积聚的现象，使半导体一端面产生负电荷积聚，另一端面则为正电荷积聚。由于电荷聚积，产生静电场，即为霍尔电场该静电场对电子的作用力 与洛仑兹力方向相反，将阻止电子继续偏转，其大小为： ; 静电场作用于运动电子上的 与洛仑兹力 相等时，电子积累达到动态平衡，即 ; 若霍尔元件为P型半导体、则： ;由于材料电阻率 与超流子浓度 和其迁移率 有关，即 则：; 一般要求霍尔元件灵敏度越大越好．霍尔元件的厚度d与 成反比．因此，霍尔元件的厚度越小其灵敏度越高。当霍尔元件的宽度b加大，或 减小时，载流子在偏转过程中的损失将加大、 下降。通常要对式 加以形状效应修正： ;霍尔元件：直角平行六面体的单晶半导体薄片 材料：锗(Ge)、硅(Si)、砷化铟(InSb)等半导体材料。 霍尔元件组成：半导体薄片和两对电极组成;霍尔元件的符号和基本电路;霍尔电势方向判别：;Sensor;这里所必需的包括：各种传感器、可快速处理来自传感器的大量信息的处理器、驱动激励器的高耐压（LSI），以及能够将LSI的可靠性提高到与飞机相媲美的技术。所有这些元件均为尖端技术的结晶。 在机器人的发展过程中，车载元件技术起着关键作用。因为机器人所需的关键技术包含于车载元件中。对于两者来说，传感器、激励器和信号处理等都至关重要。机器人也必须像汽车一样如同电子茧似地配备传感器，并快速判断所接收到的信息。比如躲避运动的障碍物行走的动作，必须识别障碍物、预测其动作，并在不破坏平衡的条件下控制双足等。 ;第二节、霍尔元件的主要技术参数; 3．不平衡电势Uo 在额定控制电流I之下，不加磁场时，霍尔电极间的空载霍尔电势称为不平衡(不等)电势，单位为mv。不平衡电势和额定控制电流I之比为不平衡电阻ro。有些产品也提供不平衡电阻参数值。 4．霍尔电势稳定系数 在一定的磁感应强度和控制电流下，温度变化1℃时，霍尔电势变化的百分率，称为霍尔电势温度系数. 5．内阻温度系数 霍尔元件在无磁场及工作温度范围内，温度每变化1℃时，输入电阻与输出电阻变化的百分率称为内阻温度系数，一般取不同温度时的平均值。 ; 6．灵敏度系数 其定义同前述，有时某些产品给出无负载时灵敏度，在某一控制电流和一定强度磁场中，输出极开路时元件的灵敏度。 表9—3列出中国科学院半导体研究所生产的砷化镓(GaAs)霍尔元件的主要技术参数。 ;砷化镓霍尔元件的主要技术参数;第三节、霍尔元件连接方式和输出电路;2．连接方式;图5霍尔元件输出叠加连接方式; 因此，输出电路如图6所示两种结构。下面以我国科学院半导体研究所生产的GaAs霍尔元件为例，给出两种参考电路，分别如图6(a)和(b)所示。 ; 当霍尔元件作线性测量时．最好选用灵敏度低一点、不等位电势小、稳定性和线性度优良的霍尔元件。 例如，选用 ，控制电流为5mA的霍尔元件作线性测量元件，若要测量1Gs一10kGs的磁场，则霍尔器件最低输出电势 为： 故要选择低噪音的放大器作为前级放大。 ;OP-17 速度与 CF357 相当, UIOS IIOS 和αUIOS 大约 只有CF357的十分之一; 封装、引线排列和应用线路与CF357的完全相同; 工作温度范围为10℃ ~ 70℃。 OP-27 UIOS ,αUIOS 与OP-07相近;IIOS 和α IIOS 比 OP-07的大; OP-27 噪声电压特别小,小于OP-07的十分之一;;当霍尔元件作开关使用时，要选择灵敏度高的霍尔器件。 例如 ，如果采用2x 3x 5(mm)的衫磁钢的器件，控制电流为2mA，施加一个距离器件为5mm的300G s的磁场，则输出霍尔电势为 这时选用一般的放大器即可满足。 输入失调电压UIOS 和输入失调电流IIOS 很小； 输入失调电压温漂αUIOS 和输入失调