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第卷第期中国测试年月院大口径平面面形绝对测量及重力影响分析徐德袁王艳茹袁冉铮惠中国工程物理研究院计量测试中心四川绵阳在分析基于奇偶函数法的三摘要院为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度补偿重力引起的形变误差平面互检算法的基础上利用片准口径的待测平面镜进行实验测量分析对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进行有限元仿真分析据此对测量数据进行修正并对最终面形结果进行补偿使测量结果更加逼近真实值关键词院三平面互检绝对测量奇偶函数法重力变形有限元分析文献标志码院文章编号院渊冤准但该方
第41卷第4期 中国测试 Vol.41 No.4
2015年4月 CHINA MEASUREMENT TEST April，2015
doi院10.11857/j.issn.1674-5124.2015.04.004
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