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2017-07-23 发布于上海
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蒸发速率对ITO光学常数的影响1.pdf

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蒸发速率对ITO光学常数的影响1

56 2009 1 (40) * IT O 李天璘, 朱彦旭, 徐晨, 高国, 沈光地 ( , 100124) : 由于IT O 具有复杂的微观结构和吸收机 ( 100) 102nm ITO 制, 很难准确测量出它的光学常数采变入射角光 ITO , Si 度椭偏仪( VASE) 建立了一套简单的拟合模型, 成功 , 25 2 3 2 拟合出ITO 光学常数在可见光范围内随波长的变化 , IT O In O SnO 9 关系并在此基础上分析了电子束蒸发法蒸发速率对 1, 2. 4 10- 3 Pa, 3ml/ min, IT O 薄膜光学常数的影响根据 Hall 效应测量了 190 ! , 12 3 IT O 在不同蒸发速率下的载流子浓度, 分析了IT O 光 0. 10. 150. 2nm/ s 学常数随蒸发速率增加而增加的机理 2. 2 : ITO; ; ; J. A. Woollam : TN304 : A ( VASE) : 250~ : 2009) 1200nm 2000nm ITO [ 10] , 1 , 1200nm65 ( IT O) n 70 75∀, 10r/ s - 4 - 1 - 1 10 cm ( 400~ IT O , [ 1, 2] 00nm) 90% , Cauchy ( 1# ) , Drude , ITO ( 2# ) , Drude ( 3# ) , Lorentz , (4# ) , Lorentz + EMA( ) ( 5# ) , 5 2 , IT O M SE( ) , IT O MSE : , N mod exp 2 mod exp 2 1 !i - !i - i + exp exp ITO 2N - M i= 1 ∀!j ∀ , i