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逢 甲 大 學
自動控制工程學系專題製作
專 題 論 文
微動平台雙軸控制系統
The Biaxial Control System for
Positioning X-Y Stage Micromovement
指導教授：張興政
學 生：陳俊甫
林政賢
中 華 民 國 九 十 三 年 六 月
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