使用台式电镜高效率观察焊锡球微观形貌.PDF

Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 使用台式电镜高效率观察焊锡球微观形貌 作为集成电路生产中的重要辅料，焊锡球在现代微电子中应用十分广泛，是笔记本 电脑、移动通信设备、计算机主板、发光二极管、液晶显示器、 掌上电脑、数字照相 机等产品的功能集成电路生产过程中必不可少的工艺辅料，特别在大规模集成电路的微 缩工艺中起到至关重要的作用。 目前焊锡球的市场需求十分巨大，每年的增长率近90% ，特别是高精度、小直径 的焊锡球严重缺货。日本是世界焊锡球的生产大国，控制着国际市场 85% 的销售份额。 国内出现一大批焊锡球的生产厂家，对焊锡球质量控制要求越来越严格。 台式扫描电镜相比于光学显微镜具有高倍率，大景深，立体感强的优势，同时安装 能谱仪还能进行成分组分分析，非常适合对焊锡球这种对直径和成分要求严格的材料进 行质量控制检测。本文采用日立新一代台式扫描电镜 TM3000 对焊锡球进行检测，加 速电压 15KV ，工作距离4.8 毫米，所得结果如下图所示。 图 1 焊锡球 15KV 加速电压下 1 千倍图像，立体感强，景深大 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 图 2 焊锡球 15KV 加速电压下 3 千倍图像，球体直径约 30 微米 图 3 焊锡球 15KV 加速电压下 5 千倍图像，表面细节形貌清晰可见 图4 焊锡球 15KV 加速电压下 1 万倍图像，表面原子序数衬度明显 Marketing 天美（中国）科学仪器有限公司 TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7 号楼1、3 层 TEL:010 FAX:010 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 图为焊锡球（锡铅合金）在 1K、3K、5K 和 10K 的放大倍率下得到的清晰图像， 焊锡球表面细节清晰可见同时整个球体立体感强，景深好。从图中可以直接测量焊锡球 直径得到球体直径分布情况，在焊锡球表面可以看到原子序数衬度像，由于锡（Sn ）的 原子序数比铅（Pd ）大，所以锡可以产生更多的背散射电子信号，图像中显示区域较亮， 我们可以轻易从图像中得到不同元素原子的分布情况。 图 5 日立台式扫描电镜TM3000 TM3000 采用改进的电子光学系统，成像更清晰稳定，轻易就能获得高倍率、大景 深的图像，在焊锡球质量控制检测中受到使用者的一致好评。 TM3000 采用高灵敏度的四分割背散射电子探头，可以高效率地收集背散射电子信 号，使得成像信噪比极佳，同时背散射电子信号不仅携带材料表面形貌信息，也能显示 材料不同原子序数组分信息。 配备能谱仪的TM3000 台式电镜还可以通过对焊锡球表面元素进行定性定量分析， 使得对焊锡球的质量控制更加精准。新一代的日立台式扫描电镜采用更大样品台，更快 的放气时间和更强大的自动功能，方便使用者进行更快的质量控制检测。