基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制.PDFVIP

第４２卷第 １期 应　 　 　 用　 　 　 科　 　 　 技 Ｖｏｌ．４２ №．１ ２０１５年２月 Ａｐｐｌｉｅｄ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｆｅｂ． ２０１５ ｄｏｉ：１０．３９６９／ ｊ．ｉｓｓｎ．１００９⁃６７１Ｘ．２０１４０７００３ 网络出版地址：ｈｔｔｐ：／ ／ ｗｗｗ．ｃｎｋｉ．ｎｅｔ／ ｋｃｍｓ／ ｄｅｔａｉｌ／ ２３．１１９１．Ｕ１７２５．００１．ｈｔｍｌ 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 陈琦 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 １３００３３ 摘　 要：在超精密光学工程等领域，为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求，设计并研制了一种大载荷的纳米 定位平台。 该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨，由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动，通过电容微位移传感器 实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制，有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性影响因素，并消除了系统由于形 变或应力释放等因素产生的不确定性干扰。 在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双导轨气浮承载台，显著增强了系统 的载荷能力，气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性，双压电推拉式驱动方式提高了系统结构刚度，电容微位移 传感器取代双频激光干涉仪或电阻式位移传感器的应用，降低了系统运行尤其是测量系统对环境条件苛刻的要求，也保 证了平台进给的定位精度和长期稳定性。 在载荷为１００ｋｇ情况下，定位精度达±２ｎｍ，行程大于１０ μｍ。 实验结果表明， 大载荷纳米微动台能够满足大质量部件的纳米级超精密定位需求。 关键词：纳米定位；压电陶瓷；气浮导轨；电容微位移传感器 中图分类号：ＴＰ２７３．５　 　 　 　 　 　 文献标志码：Ａ　 　 　 　 　 　 文章编号：１００９⁃６７１Ｘ（２０１５）０１⁃０６２⁃０４ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ａｎｄ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ ｌａｒｇｅ ｌｏａｄ ｎａｎｏ⁃ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ ｂａｓｅｄ ｏｎ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ ｓｅｎｓｏｒ ＣＨＥＮ Ｑｉ Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ Ｏｐｔｉｃｓ，Ｆｉｎｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃｓ ａｎｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ，Ｃｈｉｎｅｓｅ Ａｃａｄｅｍｙ ｏｆ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ １３００３３，Ｃｈｉｎａ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎ ｏｒｄｅｒ ｔｏ ｓａｔｉｓｆｙ ｔｈｅ ｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔ ｏｆ ｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｅｆｅｅｄｉｎｇ ａｎｄ ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｏｆ ｍａｓｓｉｖｅ ｐａｒｔｓｉｎ ｔｈｅ ｄｏｍａｉｎｓ ｓｕｃｈ ａｓ ｕｌｔｒａｐｒｅｃｉｓｅ ｏｐｔｉｃａｌ ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ａ ｎａｎｏ⁃ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｓｙｓｔｅｍ ｔｈａｔ ｉｓ ｓｕｉｔａｂｌｅ ｆｏｒ ｔｈｅ ｌａｒｇｅ ｌｏａｄ ｓｉｔｕａｔｉｏｎ ｉｓ ｐｒｅｓｅｎｔｅｄ ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ． Ｄｏｕｂｌｅ ｃｌｏｓｅｄ⁃ｔｙｐｅ ａｉｒ⁃ｌｕｂｒｉｃａｔｅｄ ｇｕｉｄｅｒａｉｌｓａｒｅｕｓｅｄ ｉｎｔｈｅ ｄｅｓｉｇｎ ｏｆ ｔｈｉｓｎａｎｏ⁃ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ ｓｔａｇｅ，ｗｈｉｃｈ ｉｓ ｄｒｉｖｅｎ ｂｙ ｔｈｅ ｄｏｕｂｌｅ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ａｃｔｕａｔｏｒｓ ｃｏｍｂｉｎｅｄ ｗｉｔｈ ｆｌｅｘｉｂｌｅ ｈｉｎｇｅ． Ａ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ ｄｉｓｐｌａｃｅ⁃ ｍｅｎｔ ｓｅｎｓｏｒ ｉｓｕｓｅｄｔｏｍｏｎｉｔｏｒｔｈｅｍｏｔｉｏｎｏｆ ｔｈｅｌｏａｄｂｅａｒｉｎｇ ｓｔａｇｅａｎｄｒｅａｌｉｚｅｆｅｅｄ⁃ｂａｃｋｃｏｎｔｒｏｌ ｏｆ ｔｈｅｃｌｏｓｅｄｌｏｏｐ， ｗｈｉｃｈ ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙ ｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｓ ｔｈｅ ｎｏｎｌｉｎｅａｒｉｔｙ ａｎｄ ｈｙｓｔｅｒｅｓｉｓ ｏｆ ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ ａｃｔｕａｔｏｒｓ ａｎｄ ｒｅｄｕｃｅｓ ｔｈｅ ｔｕｒｂｕｌｅｎｃｅｓ ｃａｕｓｅｄ