含氟聚酰亚胺和其在微电子工业中的研究进展Ⅱ含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用.pdfVIP

高 分 子 通 报 年 月 · · #$ 0 % ## 综 述 含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展 # # ! 含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用 % % # # # % % 刘金刚 ，何民辉 ，王丽芳 ，杨海霞 ，李彦峰 ，范 琳 ，杨士勇! （ 中国科学院化学研究所，工程塑料国家重点实验室，分子科学中心，北京 %/ %0 # / 兰州大学，兰州大学化学化工学院，兰州 -$ ） 摘要：综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺（ ）研究及应用领域中的最新进展情况。主要从 +1 现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚 胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述。重点阐述了中国科学院化学研究所$! 组近几年在这方面的研究进展情况。并指出为了推动我国微电子工业的发展，研制开发低成本、高 技术含量的含氟聚酰亚胺材料具有十分重要的现实意义。 关键词：含氟聚酰亚胺；微电子；低介电常数材料；取向膜 近几年，以集成电路为代表的微电子工业取得了迅猛的发展，半导体集成电路已从分立器件发 展到中、小规模集成电路（ 、 ）、大规模集成电路（ ）、超大规模集成电路（ ），并正向巨大 ’’1 2’1 )’1 3)’1 规模集成电路（ ）进军。所有这一切只不过经历了几十年的时间。半导体集成电路的迅猛发展 4)’1 使得以计算机为代表的信息产业已发展成为世界上最大的产业。#% 年全球信息产业的市场规 模己突破# 亿美元，我国的信息产业也在高速发展，据国家有关部门预测，“十五”期间，我国信 ［］ 息产业的年增长速度将超过# 5 % 。 信息产业的迅速发展除了技术的不断更新外，各种配套材料的发展同样占据着十分重要的地 位。为微电子工业配套的专用化学材料通常称为“电子化学品”，其主要包括集成电路和分立器件 用化学品、印刷电路板配套化学品、表面组装用化学品和显示器件用化学品等。电子化学品具有质 量要求高、用量少、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点。其质量好坏将直接 影响到电子器件的优劣，因此有“一代材料、一代产品”之说。美国、日本以及欧洲等工业发达国家 都非常重视电子化学品的研制与开发，因此新一代电子技术刚出现，就会有新一代电子化学品与之 ［］ # 适应，这也是为什么这些发达国家总能够走在技术发展的前列的缘故 。 聚酰亚胺（ ）可以说是目前电子化学品中最有发展前途的有机高分子材料之一。其优异的综 +1 合性能可满足微电子工业对材料的苛刻要求，因此得到了广泛的重视。目前 在微电子工业中的 +1 应用主要包括如下几个方面，芯片表面的钝化与封装材料、粒子屏蔽材料、多层布线的层间绝缘 6 ! 材料和用于制图、通孔的光致抗蚀剂材料、柔性印制