非常规X射线能量探测技术.PDFVIP

第25 卷 第1 期 岩 矿 测 试 Vol. 25 ，No. 1 2006 年3 月 ROCK AND MINERAL ANALYSIS March ，2006 文章编号：0254 5357 （2006 ）0 1 0049 06 非常规X 射线能量探测技术 1，2 2 罗立强 ，Marij a Pop ovic （1. 国家地质实验测试中心，北京 100037 ；2 . McMaster University ，Ontario ，Canada ） 摘要：硅锂半导体探测器在常规X 射线光谱分析中已得到广泛应用，目前已发展多种非常 规X 射线探测器，如四叶花瓣型Ge 探测器、Si 漂移与电耦合阵列探测器、超导探测器、CdZnTe 探测器、钻石探测器和无定型硅探测器等。文章对其工作原理、进展和应用等作了介绍。 关键词：X 射线；能量探测器；评述 中图分类号：O766 . 3 ；O572 . 212 文献标识码： A Progresses in X-Ray Energy Detectors L UO Li-qiang ，Marij a Pop ovic （1. NationaI Research Center of GeoanaIysis ，Beijing 100037 ，China ； 2 . McMaster university ，Ontario ，Canada ） Abstract ：The energy detectors have undergone great improvements in the last decade. With respect to their working principles ，technique characteristics and applications ，several innovative energy detectors were re- viewed ，including the clover-leaf Ge detector ，the silicon drift and charge coupled detector ，the superconducting tunnel junction detector and the transition edge sensor microcalorimeters ，CdZnTe detector ，the chemical vapor deposition diamond detector ，the amorphous silicon detector ，as well as the thermoelectric cooler. Key words ：X-ray ；energy detector ；review X 射线探测器最初是一种无能量分辨能力的盖 电阻特性，故应用前景广泛。但由于B 在Si 中的偏 革计数器，现在已发展了多种类型、不同用途，并具 析，天然B 对Si 的污染很难去除。故需要反复的晶 有极高分辨率的各种X 射线探测器。特别是最近 层净化工艺才能实现单晶硅的本征电阻特性。 几年，随着半导体技术、太空探测和超导材料研究的 应用Li 漂移技术可以克服需要反复进行晶层净 进步，X 射线能量探测器技术取得了显著的进展。 化的复杂工