柔性不锈钢衬底cigs薄膜太阳电池 cigs thin film solar cells on flexible stainless steel substrates.pdfVIP

第28卷第9期 Ⅷ．28，N0．9 20町年9月 s印．2007 文章编号：蚪0眇6【20们)凹一坤47-咐 柔性不锈钢衬底CIGS薄膜太阳电池 施成营，何青，张力，肖建平， 敖建平，杨成晓，李微，李凤岩，孙云 南井大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津市光电子薄膜嚣件与技术重点实验宦 南开大学帕纳科应用技术实验室，天津30叫71) 摘要：以轻质柔性不锈钢材料为衬底，利用三步共蒸发法制备较高质量的四元化合物cu(hl，Ga)靶薄膜，c磷 cds，cIGs／wstaidess 8ted结构为基础得到最高转换效率为9．39％的柔性太阳电池。最后讨论了衬底粗糙度、有害 杂质的扩散和不古有№元素等不利因素对于电池性能的影响。 关键词：Cu(h，Ga)‰(cIGs)；柔性；太阳电池；不锈钢 中图分类号：嘶15 文献标识码：A 0前言 办O：A1结构为基础制备出轻质柔性衬底太阳电池， 轻质柔性衬底铜锢镓硒(简称cIGs)薄膜太阳 并获碍了9．39％的转换效率。 电池是在金属箔或高分子聚合物薄膜基底上，经过 真空沉积和化学法沉积若干层半导体与金属薄膜而 1实验 构成的太阳电池。柔性衬底铜铟镓硒太阳电池在空 间领域具有很强应用前景，它不但具有质量轻、可弯 法沉积1．2岬的Mo作为衬底。厚度约2脚的 曲、不怕摔碰、重量比功率高、可显著降低发射成本 cⅢGs吸收层采用共蒸发的三步法工艺。第一步hI、 等优点，而且在空间高能粒子的辐照下具有很好的 稳定性。柔性衬底太阳电池另一个最重要的优点是 可采用绕带式沉积，可以实现大规模生产，显著降低 蒸，在衬底温度约为560。c条件下，直到形成富cu的 生产成本。这些优异的性能吸引着世界很多研究小 CIGS薄膜；第三步是衬底温度不变的条件下，沉积 组都在从事对它的研究”“。，目前面积0．4cm2的不 锈钢衬底的cIGS电池的转换效率已经达到17．5％， 以聚酰亚胺薄膜为衬底的cIGS电池的转换效率已 经超过13％。轻质柔性衬底cIGS薄膜太阳电池在 温度降到350℃，这一步骤一方面避免se的损失，另 我国目前还处于空白，还没有相关研究报道。 一方面有利于薄膜应力的消除。利用ⅪⅢ和Ⅺ玎 以不锈钢作为柔性衬底，不仅价格低，而且在 分别分析了预制层和吸收屡的晶相和组分。完成了 600℃的高温下沉积cIGs薄膜仍具有很好的机械稳 吸收层C瞄薄膜沉积后，分别沉积作为过渡层的 定性和热稳定性，以此衬底制备的cIcs电池其转换 效率比聚合物衬底的高。 本文报道了以不锈钢为衬底，用共蒸发三步 收稿日期：加0B_04—13 基金砸目：国家高技术发展计划(973)(2∞4AAsl3020) 作者简介：施成营(1974一)，男，博士研究生．主要从事柔性铜铟镓硒化合物薄膜太阳电池的研究。 万方数据万方数据 太 阳 能 学 报 28卷 高阻znO薄膜采用中频磁控溅射高纯度Zn0陶瓷靶 方法制备的cIGs吸收层表面光滑，有利于减少结面 材制备，厚度为800A；低阻ZnO薄膜采用Akq掺杂 积和降低结面的缺陷”o。利用Ⅺ山测量了本实验 2．5％进行直流磁控溅射，厚度为6000，8000^。最 所制备的预置层和吸收层的晶相如图2所