柔性衬底太阳电池陷光结构的研究 study of textured plastic substrates and back contacts for amorphous solar cells.pdfVIP

第30卷第1期 太阳能学报 V01．30．No．1 2009年1月 ACTAENERGIAESOI．ARISSINICA Jan．，2009 文章编号：ozs4-0096(加09)01．0001．04 柔性衬底太阳电池陷光结构的研究 张德贤1，蔡宏琨1’2，隋妍萍1，陶科1，席 强1，薛 颖1，孙 云2 (1．南开大学信息技术科学学院电子科学与技术系，天津300071；2．南开大学光电子薄膜与器件研究所，天津300071) 摘要：讨论了粗糙聚酰亚胺(PI)衬底和具有较高粗糙度的背反射电极对柔性衬底薄膜太阳电池的影响。选择具 有天然纹路的PI作为太阳电池的衬底增加光在电池中的光程。采用热辐射加热蒸发方法显著提高铝背反射电极 的粗糙度，它是常规方法制备的约4倍。粗糙n和背反射电极形成的陷光结构使电池的短路电流提高了2mA／ c矗，量子响应(QE)短波部分得到提高且最高点红移。经QE和原子力测试表明，电池效率提高的主要原因是粗糙 的背反射电极导致面电极ZnO的形貌发生明显变化所致。 关键词：太阳电池；柔性衬底；陷光结构；粗糙度 中图分类号：TKSl4 文献标识码：A 备substrate型非晶硅薄膜太阳电池。在常规热蒸发 0引言 方法的基础上增加衬底热辐射装置制备铝背反射电 陷光结构是通过光的反射、折射和散射，将比较 极。采用孪生对向靶磁控溅射法制备掺铝氧化锌 单一的小入射角度的光线分散到各个方向上，从而 (zAO)薄膜，靶材选用纯度为99．99％的氧化锌和氧 增加光在太阳电池中的光程，使光吸收增加…。大 化铝烧结而成(氧化铝质量含量为4％)的陶瓷靶， 量研究表明，在太阳电池中引入陷光结构有利于提 相对放置，靶间距约为65mm。 高太阳电池的短路电流和转换效率陋“j。所以太阳 PI、背反射电极和电池的表面粗糙度采用原子 电池中，任何一个适当角度的不平整表面都可能起 力显微镜(AFM，NanoScopeⅣ，UsA)测试，表面形 到陷光的作用。对于8uperstrate结构太阳电池，常通 过调整前电极TCO薄膜的沉积工艺或用湿法刻蚀 射仪(X’Pert 的方法形成陷光结构，这种方法比较简便可行而且 结构特性。薄膜的光学特性采用分光光度计(caring 不会影响硅基薄膜的制备。 5000，UsA)表征。 近年来鉴于柔性衬底薄膜太阳电池高功率重量 比和可弯曲的特点，以不锈钢箔、聚合物薄膜为基底 2结果与讨论 的柔性太阳电池越来越受到研究者的重视[5’6]。不 2．1聚酰亚胺(PI)的选择 同于8uperstrate结构太阳电池，substrate结构太阳电 池的TCO是在硅基薄膜之后生长，此时再采用湿法 刻蚀或不恰当地调整工艺会不可避免的损伤硅基薄 膜，破坏电池结构。本文从制备背反射电极人手，讨 太阳电池，制备具有一定厚度的TCO层形成陷光结 论提高背反射电极的粗糙度和绒度以形成陷光结 构是普遍的做法，然而这种方法因为柔性衬底温度 构，从而提高太阳电池的输出特性。 特性的限制，制备过程中TCO膜的生长速率很慢， 非常耗时[7]。如果可以控制PI薄膜的表面形貌，那 1 实验方法 么随后生长的一定厚度的薄膜会延续衬底的形貌。 采用RF-PECVD方法在不同聚酰亚胺衬底上